MCPD series 薄膜在线测量设备是光学式测量系统，可以以非接触和非破坏性的方式测量薄膜厚度、透过率、颜色等、/span>
可测量的膜厚范围 65 nm 92 μm。（以折射率n=1.5换算（/span>
采用分光干涉法测量原理，支持多层膜厚测量，同时实现高重复性精度。采用独创的算法，可以高速实时监控，非常适合于薄膜在线测量、/span>
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?nbsp;最短曝光时?ms~ ※根据具体规栻br style="margin: 0px; padding: 0px; outline: 0px; max-width: 100%; box-sizing: border-box !important; overflow-wrap: break-word !important; visibility: visible;"/>
膜厚测量范围 65 nm ~92 μm（SiO2换算（/span>
多点测量点切换对应系绞/span>
导轨测量系统
在导轨测量系统中，通过导轨机构驱动在TD方向扫描，以任意宽度和任意间距测量TD方向的膜厚分布。可以用作涂层的条件设置和运行时的实时监控、/p>
通过导轨机构横向移动进行多点测量，无需准备多个检测器或数据处理单元、/p>
真空环境下的多点反射 · 透过光谱测量
与各种法兰兼容的耐真空光纤，可以在高真空下测量反 · 透射光谱。此外，采用大塚电子独创算法，不易受基膜上下移动的影响，高精度测量薄膜膜厚。可作为实时监控使用、/p>
MCPD-9800
| 型号 |
MCPD-9800 |
| 2285C |
3095C |
3683C |
311C |
916C |
| 测量波长范围（nm（/td> |
220?50 |
300?50 |
360?30 |
360?100 |
900?600 |
| 膜厚范围›/td> |
65nm?5μm |
65nm?0μm |
65nm?5μm |
65nm?9μm |
180nm?2μm |
| 膜厚/反射/透过/相位?/td> |
〆/td> |
| 色测野/td> |
〆/td> |
× |
| 扫描时间 |
5ms?0s |
1ms?0s |
| 测量光斑 |
φ1.2mm |
| 光纤长度 |
1m～ 光纤长度需提前协商 |
※膜厚值以n=1.5换算。并与式样相关、/span>
MCPD-6800
| 型号 |
MCPD-6800 |
| 2285C |
3095C |
3683C |
3610C |
| 测量波长范围（nm（/td> |
220?50 |
300?50 |
360?30 |
360?000 |
| 膜厚范围›/td> |
65nm?5μm |
65nm?0μm |
65nm?5μm |
65nm?9μm |
| 膜厚/反射/透过/相位?色测野/td> |
〆/td> |
| 扫描时间 |
16ms?5s |
| 测量光斑 |
φ1.2mm |
| 光纤长度 |
１ｍ～ 光纤长度需提前协商 |
›/span>膜厚值以n=1.5换算、/span>幵/span>与式样相兲/span>、/span>
