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二硫化钼CVD气相沉积系统

二硫化钼CVD气相沉积系统
  • 品牌9span>翰军
  • 产地9span>上海
  • 关注度:1641
  • 型号9span>二硫化钼CVD气相沉积系统
  • 报价9span class="jg_red">面议
  • 信息完整度:
核心参数
  • 温控精度9span>±1ℂ/span>
  • 最高温度:400ℂ/span>
  • 非金属电热元件:其他
  • 金属电热元件9span>其他
  • 烧结气氛9span>其他
产品介绍

一、概?/span>

硫粉预热器采?strong style=";padding: 0px">管内测控?/span>以保证在250℃以下,稳定控制硫蒸汽的蒸发时机和蒸发温度。真空机组装月strong style=";padding: 0px">真空粉尘过滤?/span>以保护机械式真空泵不被硫粉尘损坏。采?strong style=";padding: 0px">耐腐蚀电阻电容复合真空计(?/span>1000Pa以上测量不受气体种类影响,耐硫蒸气腐蚀(/span>,通过调节真空蝶阀的开启程度调节炉管内压力稳定,在1200℃以下的工艺温度稳定气相沉积二硫化钼等二维化合物材料、/span>

二?/span>设备组成

HCVD-1200S双温区管式炉+span style=";padding: 0px">HTF400C硫粉预热?span style=";padding: 0px">(双温区管式炉与预热器可滑?span style=";padding: 0px">),质量流量计供气系统,机械式真空泵等组成、/span>

三?/span>主要技术参?/span>

硫粉预热?/span>

型号9span style=";padding: 0px">HTF-400C

工作温度9span style=";padding: 0px">350ℂ/span>

**温度9span style=";padding: 0px">400ℂ/span>

*快升温速率9span style=";padding: 0px">30ℂspan style=";padding: 0px">/min

推荐升温速率9span style=";padding: 0px">10ℂspan style=";padding: 0px">/min

控温方式:智能化30段可编程控制

工作电压9span style=";padding: 0px">AC220 V

额定功率9span style=";padding: 0px">800W

控温精度:°span style=";padding: 0px">1ℂ/span>

加热元件:电阻丝

双温区硫化炉

型号9span style=";padding: 0px">HCVD-1200S

技术参数:

额定功率(KW):3

额定电压(V):AC220v 50/60 Hz

**温度(ℂspan style=";padding: 0px">):1200'span style=";padding: 0px">1 hour(/span>

持续工作温度(℃)9span style=";padding: 0px">1100

升温速率(℃/min):≣span style=";padding: 0px">50

炉管尺寸'span style=";padding: 0px">mm):

高纯石英管?span style=";padding: 0px">50×1500mm

加热区长度(mm):440mm

恒温区长度(mm(span style=";padding: 0px">:200mm

控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

控温精度(ℂspan style=";padding: 0px">):±1

加热元件:电阻东/span>

供气系统GMF3Z

质量流量讠/span>

重量9span style=";padding: 0px">35Kg

外形尺寸9span style=";padding: 0px">600x600x650mm

连接头类型:双卡套不锈钢接头、/span>

标准量程'span style=";padding: 0px">N2标定)9span style=";padding: 0px">50sccm?span style=";padding: 0px">200sccm?span style=";padding: 0px">500sccm:span style=";padding: 0px">(可根据用户要求定制(/span>

准确度:±1.5%

线性:±0.5}span style=";padding: 0px">1.5%

重复精度:°span style=";padding: 0px">0.2%

响应时间:气特性:1}span style=";padding: 0px">4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围9span style=";padding: 0px">0.1}span style=";padding: 0px">0.5 MPa

**压力9span style=";padding: 0px">3MPa

接口:?span style=";padding: 0px">6,1/4''

显示9span style=";padding: 0px">4位数字显礹/span>

工作环境温度:5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管:?span style=";padding: 0px">6

压力真空表:,span style=";padding: 0px">0.1}span style=";padding: 0px">0.15 MPa, 0.01 MPa/栻span style=";padding: 0px">

截止阀:?span style=";padding: 0px">6

低真空机练span style=";padding: 0px">VAU-02

技术参数:

空气相对湿度≣span style=";padding: 0px">85%+/span>

工作电电压:220V±10% 50~60HZ

功率9span style=";padding: 0px">1千瓦

抽气速率9span style=";padding: 0px">4L\s

极限真空9span style=";padding: 0px">4X10-2Pa

实验真空度:1.0X10-1Pa

容油量:1.1L

进气口口径:KF25

排气口口径:KF25

转速:1450rpm

噪音9span style=";padding: 0px">50dB

外型尺寸:450×180×240mm

配真空粉尘过滤器+span style=";padding: 0px">DN25手动蝶阀用于控制炉管内压力,INFICON PCG554复合真空讠/span>


问商宵/div>

  • 二硫化钼CVD气相沉积系统的工作原理介绍?
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工商信息

企业名称

上海翰军实验设备有限公司

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

91310114088623834X

法人代表

肖伟

注册地址

上海市嘉定区前曹公路557?0幢一层A匹/span>

成立日期

2014-03-25

注册资本

500万人民币

有效期限

2014-03-25 2044-03-24

经营范围

一般项目:实验分析仪器销售,光通信设备销售,仪器仪表销售,普通机械设备安装服务,电子、机械设备维护(不含特种设备),仪器仪表修理,技术服务、技术咨询、技术开发、技术交流、技术转让、技术推广,从事电炉、高真空设备和工业自动控制系统装置的生产。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)许可项目:货物进出口,技术进出口。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准(/span>
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