在MOCVD反应器的广泛镀膜过程中，行星基座或载体会移动衬底晶片。基座材料的性能对涂层质量有很大影响，进而影响芯片废品率、�/p>

我们的碳化硅涂层基座提升了高品质LED晶圆的制造效率，将波长偏差降�?低、�/p>

我们还为目前使用的所有MOCVD反应器提供其他石墨部件。我们可以为几乎所有部件涂上碳化硅涂层，即使部件直径超�?米（3‘），我们依然能够进行碳化硅涂层、�/p>