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深圳市川研科技有限公司
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产品分类
产品简今/div>
Sciyea的FSP系列，由聚氨酯发泡制作而成。根据不同的研磨材料，分为氧化铈填充物、氧化锆填充物、氧化铝填充物、以及不含磨料的纯聚氨酯抛光垫、/span>
基本信息
厚度?.5-4.0mm：br style="box-sizing: border-box;"/>
圆片尺寸?90mm?40mm?20mm?60mm?050mm?180mm?340mm：/span>
方片尺寸?90*1400?50*1400?00*1400?40*1700?000*1000mm：/span>
特?/span>
使用寿命长、精度高：br style="box-sizing: border-box;"/>
热熔胶（背胶）可以根据客户的特殊要求提供：/span>
精度高，适用于工件粗抛；
可提供标准开槽或根据客户需求特殊规格开槽、/span>
产品详情
| 型号 | 硬度 | 密度（g/c㎡） | 填充?/td> | 应用领域 |
FSP66 |
80 | 0.42 | CeO₁/span> | 精密光学、晶圆、晶佒/p> |
| FSP66B | 85 | 0.43 | CeO₁/span> |
精密光学、晶圆、晶佒/p> |
| FSP66C | 85 | 0.43 | CeO₁/span> | 精密光学、晶圆、晶体、LCD |
FSP13 |
66 | 0.35 | CeO₁/span> | 精密光学、晶圆、晶佒/p> |
| FSP35 | 90 | 0.59 | ZrO₁/span> | 精密光学、晶圆、晶体、LCD |
| FSP26 | 88 | 0.57 | ZrO₁/span> | 精密光学、玻璂/p> |
| FSP57 | 88 | 0.51 | None | 精密光学、石英、半导体基板 |
FSP20 |
92 | 0.58 | None | 精密光学、晶圆、晶佒/p> |
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