一.产品应用

SYSC-150系列高精度程控旋涂仪＇�/span>Spin Coater），�?*转速可辽�/span>12000rpm�?*旋转加速度可达60000rpm/s（有负载条件下的真实加速度）。具有速度精度高、转速稳定、极好的加速度、主动式速度调控、匀胶过程多段程序控制等特点。可用于微电子、半导体、光电器件、新能源、生物材料、光学器件等领域的各类高精密纳米功能涂层的制备、�/span>

�?产品特点

1.旋转电机采用专为匀胶机设计皃�/span>精密高速伺服电朹�/span>，具有高精度、高稳定性、高可靠性、�/span>

2.优异的旋转加速性能＋�/span>**旋转加速度可达60000rpm/s（有负载的真实加速度（�/span>、�/span>

3.两项安全互锁功能９�/span>

(1)匀胶腔体具有开启、关闭的检测功能，确保腔体关闭后才可启动，防止匀胶过程中飞片造成人身伤害：�/span>

(2)真空吸片具有真空检测功能，若发生真空泄漏，基片无法吸附牢固，则立即停止运行、�/span>

4.机身外壳采用SUS304不锈钢制作，防腐蚀、不生锈、易清洁、�/span>

5.匀胶腔体采用德国劳士领NPP材料，经CNC一体加工成垊�/span>。接储脱离基片的胶液，避免进入真空管路和设备内部。耐腐蚀、易清洁、�/span>

6.旋转吸片台采用德国劳士领PEEK材料，经CNC一体加工成型。耐高温、耐腐蚀、不变形、�/span>

7.匀胶过程全自动分段程序控制。整个匀胶过�?多可分十段进行，每段的加速时间、旋转速度、匀胶时间均可精密控制、连续可调。可储存50组工艺程序，随时调用、�/span>

8.7英寸液晶触摸屏使控制更方侾�/span>；运行状态及各项参数实时显示，更直观了解匀胶进程；

9.真空泵的开启与关闭均为自动程序控制，无需手动操作、�/span>

10.旋转前增加预吸片步骤＋�/span>‛�/span>预吸片时闳�/span>“�/span>*多为99s，确保基片牢固吸附于旋转台后再进行旋转涂膜。匀胶完成后增加解吸片步骤，‛�/span>解吸片时闳�/span>“�/span>*多为99s，确保安全停止后再切断真空，释放基片，防止涂膜后的基片滑落，对膜层造成损伤、�/span>

11.标配无油真空泵，低噪音。大吸力将基片紧紧吸附于旋转台，防止飞片、�/span>

�?技术参�?/span>

***旋涂加速度为有负载条件上�/span>(使用≤�?0mm基片)的真实加速度