SYSC-100A型高精度程控匀胶机（Spin Coater），�?*一代旋转涂膜设备� 精密高速伺服电机驱动，转速达8000rpm，转速精准� **旋转加速度可达40000rpm/s（有负载的真实加速度）� 全自动程序控制� 超强耐腐蚀�?04不锈钢机身，腔体采用NPP材料，旋转台采用PEEK材料� 安全保护功能，真空吸片检测，腔体关闭检测� 主要用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺，例如各类纳米薄膜材料、光阻涂覆、生物功能涂层的制备、�/h2>

一.产品应用

SYSC-100A高精度程控匀胶机＇�/span>Spin Coater），又称为旋转涂膜仪，是**一代旋转涂膜设备。具有速度精度高、转速稳定、旋转加速度可控、匀胶过程多段程序控制等特点。主要用于微电子、半导体、太阳能电池、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺，例如各类纳米薄膜材料、光阻涂层、生物功能涂层的制备、�/span>

�?产品特点

1.旋转电机采用专为匀胶机设计皃�/span>精密高速伺服电朹�/span>，具有高精度、高稳定性、高可靠性、�/span>

2.优异的旋转加速性能＋�/span>**旋转加速度可达40000rpm/s（有负载的真实加速度（�/span>、�/span>

3.两项安全互锁功能９�/span>

(1)匀胶腔体具有开启、关闭的检测功能，确保腔体关闭后才可启动，防止匀胶过程中飞片造成人身伤害：�/span>

(2)真空吸片具有真空检测功能，若发生真空泄漏，基片无法吸附牢固，则立即停止运行、�/span>

4.机身外壳采用SUS304不锈钢制作，防腐蚀、不生锈、易清洁、�/span>

5.匀胶腔体采用德国劳士领NPP材料，经CNC一体加工成垊�/span>。接储脱离基片的胶液，避免进入真空管路和设备内部。耐腐蚀、易清洁、�/span>

6.旋转吸片台采用德国劳士领PEEK材料，经CNC一体加工成型。耐高温、耐腐蚀、不变形、�/span>

7.匀胶过程全自动分段程序控制。整个匀胶过�?多可分十段进行，每段的加速时间、旋转速度、匀胶时间均可精密控制、连续可调。可储存50组工艺程序，随时调用、�/span>

8.7英寸液晶触摸屏使控制更方侾�/span>；运行状态及各项参数实时显示，更直观了解匀胶进程；

9.真空泵的开启与关闭均为自动程序控制，无需手动操作、�/span>

10.旋转前增加预吸片步骤＋�/span>‛�/span>预吸片时闳�/span>“�/span>*多为99s，确保基片牢固吸附于旋转台后再进行旋转涂膜。匀胶完成后增加解吸片步骤，‛�/span>解吸片时闳�/span>“�/span>*多为99s，确保安全停止后再切断真空，释放基片，防止涂膜后的基片滑落，对膜层造成损伤、�/span>

11.标配无油真空泵，低噪音。大吸力将基片紧紧吸附于旋转台，防止飞片、�/span>

�?技术参�?/span>

产品型号	SYSC-100A
可镀膜基片尺寷�/span>	Ø10｝�/span>100mm
旋转速度	10�?000rpm
转速分辨率	1rpm
速度精度	；�/span>0.02%
旋涂加速度*	0｝�/span>40000rpm/s
每段加速时闳�/span>	999.9s
每段旋涂时间	9999.9s
时间分辨玆�/span>	0.1s
预吸片时闳�/span>	99s
解吸片时闳�/span>	99s

***旋涂加速度为有负载条件�?使用≤�?0mm基片)的真实加速度.