美国FSM应力�?/span>

-----应力测试专家，为行业**应力仪！

Semi-Auto（半自动（�/span>Fully-Auto（全自动（�/span>

*自动切换的双光路波长９�/span>650纳米咋�/span>780纳米

*测量方式：直径方向的扫描，可提供形貌国�/span>

*扫描范围：对亍�/span>200mm的硅晶圆丹�/span>194mm

* 3-D形貌图：测量台有旋转功能，可通过控制软件中的参数输入来旋转测量台，以完成形貌图的测量（至少需要测野�/span>6个方向的扫描（�/span>

*测量的硅晶圆尺寸９�/span>200mm

*应力测量的范围：1X10⁷dynes/cm²臲�/span>4X10¹⁰dynes/cm²（对于典型的硅晶圆）

*测量数据输出：测量数据表格为客户提供的参数包括，料盒的编号、晶圆的编号、测量次数的编号、应力数值、晶圆曲率半径的数值、晶圆基片的厚度和镀膜的厚度，以及测量时间。测量数据可选择输出丹�/span>Excel格式，文本文档格式，同时可以输出样品形貌国�/span>

*客户包括Intel，Samsung，LG IBM筈�/span>等、�/span>

有任何需要赛伦科技（上海，北京都有办事处）