产品型号

CIF-SEM

法兰接口

KF40

工作气压

0.3-3Pa

等离子电溏�/span>

13.56MHz射频电源，射频功�?-100W可调，自动匹配器

气体控制

标配双路50毫升/刅�/span>气体质量流量控制器（MFC），精确测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影哌�/span>

气源选择

根据需汁�/span>氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空控制

美国MKS公司925-12010皮拉尻�/span>真空计， 测量范围1E-5Torr

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面

电源/功率

220V�?0/60Hz＋�/span>300W

可选配仵�/span>

可选氧气、氮气、氢气发生器� 氢气纯度�?9.999％，输出流量0-300ml/min

质量保证

二年质保，终身维抣�/span>