产品型号

CIF-TEM

真空泴�/span>

Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泴�/span>

入口压力1.0个大气压�?psig（�/span>＋�/span>出口压力1.4个大气压�?.5psig（�/span>

抽�?0L/min＋�/span>极限真空3.3 x 10^-1mbar

KF16入口接口

等离子电溏�/span>

13.56MHz等离孏�/span>射频电源＋�/span>射频功率5-100W可调

两种等离子体清洗源，原位等离子源和远程等离子溏�/span>＋�/span>自动匹配�?/span>

清洗宣�/span>

清洗室尺寷�/span>(长X宽X髗�/span>)150X150X150mm

清洗数量

可同时清�?支TEM样品杅�/span>

适配品牌

THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI�?span>捷欧�?/span>JEOL

气体控制

标配友�/span>�?/span>50毫升/刅�/span>气体质量流量控制器（MFC），精确测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影哌�/span>

气源选择

根据需汁�/span>氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空控制

美国MKS公司925-12010皮拉尻�/span>真空计，测量范围1E-5Torr

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面

电源

220V�?0/60Hz＋�/span>300W

质量保证

二年质保，终身维抣�/span>