CIF匀胶机

CIF匀胶机转速稳定、启动迅速，旋涂均匀，操作简单，结构紧凑实用，为实验室提供了理想的解决方案。广泛应用于微电子、半导体、新能源、化工材料、生物材料、光学，硅片、载玻片，晶片，基片，ITO 导电玻璃等工艺制版表面涂覆等、�/span>

产品特点

u采用闭环控制伺服电机，数字式增速信号反馈，速匀准确，寿命长，保证匀胶均匀、�/span>

u5寸全彩触摸屏，智能程序化可编程操控显示，标配10个匀胶梯度阶段（速度和时间梯度设置）＋�/span>可选配10个可编程程序，每个程序下可设�?0个匀胶梯度阶段，�?00个阶殴�/span>、�/span>

u内置水平校准装置，大限度的保证旋涂均匀，可对大小不同规格的基片进行旋涂、�/span>

u多重安全保护

电磁安全开关，盖子打开卡盘停止，保证安全；

盖子自锁功能＋�/span>防止飞片盖弹开伤人：�/span>

双重安全上盖＋�/span>聚四氟嵌镵�/span>钢化玻璃，避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人，大限度保证实验人员安全、�/span>

u一机两用，根据不同样品可选真穹�/span>吷�/span>盘和非真空卡盗�/span>两种旋涂模式、�/span>

u不锈钡�/span>喷塑涂层旋涂壳体＋�/span>PTFE旋涂腔体＋�/span>聚丙�?/span>＇�/span>NPP-H（�/span>旋涂托盘＋�/span>PTFE嵌镶钢化玻璃上盖，耐酸碱防腐蚀，保�?/span>仪器�?/span>苛刻条件上�/span>仌�/span>能正常运衋�/span>、�/span>

u适用硅片、玻璃、石英、金属�?/span>GaAs，GaN，InP 等多种材料、�/span>

技术参�?/span>

型号	转速（�?分）	转速稳定度	匀胶时闳�/span>	旋涂基片尺寸mm	外型尺寸（LxWxH（�/span>mm
SC1	50-10000	��1＄�/span>	0-2000S	圆片��5-��100＋�/span>方片100x100	310x260x250