规格型号

FT-3120A

FT-3120B

FT-3120C

FT-3120D

1.电阻

10^-3�?��10^4��

10^-5�?��10^5��

10^-6�?��10^5��

10-4�?��107��

2.方块电阻

10^-3�?��10^4��/■�/span>

10^-5�?��10^5��/■�/span>

10^-6�?��10^5��/■�/span>

10-4�?��107��/■�/span>

3.电阻玆�/span>

10^-4�?��10^5��-cm

10^-6�?��10^6��-cm

10-7�?��106��-cm

10-5�?��108��-cm

4.测试电流

0.1��A.��A.0��A�?00��A�?mA＋�/span>

10mA�?00mA

1A�?00mA�?0mA�?mA�?00uA�?0uA�?uA�?.1uA

10mA ---200pA

5.电流精度

��0.1%

��2%

6.电阻精度

�?.3%

�?0%

7.PC软件操作

PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚� �?/span>数据管理分析：过程数据，大、小值，均值，方差，变异系数，样品编号，测试点数统讠�/span>报表生成筈�/span>

8.探针范围９�/span>

探针压力�?00-550g；依据样品接触需要手动调芁�/span>

9.採�/span>钇�/span>

针间绝缘电阻：≥1000M��；机械游移率：≤0.3%

圆头铛�/span>镀釐�/span>材质＋�/span>探针间距1mm�?mm�?mm选配＋�/span>其他规格可定刵�/span>

10.可测晶片

尺寸选购

晶圆尺寸�?-12寷�/span>＇�/span>6寷�/span>150mm＋�/span>12寷�/span>300mm）；

方形片：大至156mm X 156mm �?25mm X 125mm

11.分析模式

自动或手�?/span>单点模式

12.加压方式

测量重复性：重复性≤3%

13.安全防护

具有限位量程和压力保抣�误操作和急停防护;异常警报

14.测试环境

实验室环墂�/span>

15.电源

输入: AC 220V��10%.50Hz � 耗：<100W

16.选购项目

电脑和打印机