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四探针电阻率测试仪工作流稊/p>
四探针电阻率测试仪工作流稊/span>
本文从的定义,工作原理,组成+/span>
四探针电阻率测试?/span>是运用直线或方形四探针双位测量。单晶硅物理测试方法国家标准;美囼/span>A.S.T.M标准、/span>
双电测试法:
利用电流探针、电压探针的变换,进行两次电测量,对数据进行双电测分枏/span>.
优点9/span>
自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响,它与单电测直线或方形四探针相比,提高精确度+/span>
特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试、/span>
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