测量原理

热质量流量测野�/p>

准确�?包括线�?

Rd +��0��0�?%�?% FS(��1% FS范围3~5 mln /分钟�?#177;2% FS范围< 3 mln /分钟)

*短为每个通道�?/p>

**总流量的1/50

调节

1�?87

控制的稳定�?/p>

<��0�?% FS(典型�? ln /分钟N2)

解决时间

1~2科�/p>

预热时间

30分钟�?*准确性，2分钟的准确度��2% FS

温度敏感�?/p>

零：< 0�?5% FS /��C；时间：< 0�?5% FS /��C

压力灵敏�?/p>

0�?%典型N2 /

态度的敏感�?/p>

max。错�?0��水平0.2% ，典型的N2

输入压力

3杠�/p>

工作温度

15~50��C

输入/输出连接�?/p>

帕克Prestolok(6毫米)

印章

氟橡胵�/p>

工作温度

15~50��C

显示

8 x 21个字符液晶显礹�/p>

尺寸

37厘米x 28 cm x 15厘米

重量

7公斤

测量原理

热质量流量测野�/p>

准确�?包括线�?

Rd +��0��5%�?% FS

*短为每个通道�?/p>

**总流量的1/50

流量范围

分钟�? 2 . .10 sccm / max�?�? . .5 slm(**流量控制器校准范围根据客户需�?

媒介

干燥、清洁、无爆炸性和无腐蚀性的气体

解决时间

700毫秒

温度敏感�?/p>

雵�< 0�?5% FS /��C；时间：< 0�?5% FS /��C

态度的敏感�?/p>

Max。误差在5% 90��水平0�?毫升/分钟酒吧，典型的N2

输入压力

3~5�?**操作压力10�?

工作温度

5~50��C

输入/输出连接�?/p>

帕克Prestolok(6毫米)

印章

氟橡胵�/p>

工作温度

15~50��C

显示

8 x 21个字符液晶显礹�/p>

尺寸

37厘米x 28 cm x 15厘米

重量

5公斤

电源

115~230VAC