编号：FTJS04399
篇名� 氢氧焰入射角对石英玻璃沉积效率的影响
作者： 徐彬� 顾真安；
关键词：化学气相沉积� 沉积效率� 石英玻璃�
机构：哈尔滨工业大学材料科学与工程学院； 中国建筑材料科学研究总院�
摘要� 为提高CVD合成石英玻璃的沉积效�?对不同氢氧焰入射角的工况进行了试验和数值模�?比较并分析了沉积效率的变化规律和二氧化硅微粒的沉积机�?结果表明:数值模拟与试验测得的沉积效率基本吻吇�近沉积面的速度分布决定了二氧化硅微粒的沉积分布,二氧化硅微粒沉积的主要机制为湍流沉积,热泳沉积起协助作�?氢氧焰入射角不同,近沉积面的速度分布和沉积面的高温区域均有明显差�?入射角过大或过小,都会造成二氧化硅微粒沉积位置和沉积面高温区的重合区域减小,降低沉积效率.入射角度�?2°�?沉积效率最�?71%).