显著特征

�?nbsp; 轻松集成快速切换工作模式和光路

�?nbsp; CF200真空法兰

�?nbsp; 同时记录10-80nm范围的光谱范図�/span>

�?nbsp; 集成光谱滤光牆�/span>

�?nbsp; 使用MCP检测而产生的大动态范図�/span>

�?nbsp; 单光子计数级别的灵敏�?/span>

�?nbsp; 高度集成的产品结构（16x17cm²（�/span>

技术规栻�/span>

	极紫外光栄�/span>	其他光栅
光谱模式
波长 [nm]	10 - 80	根据要求
分辨率[nm]	0.13 - 0.25
光栅效率	~20%
MCP效率	~20%
光束分析模式
分辨率[um]	100

* 其他配置（光谱范围，等）根据要求定制