日立2011年新推出了SU8000系列高分辨场发射扫描电镜，其中SU8020不光1kv的分辨率提升�?.3nm，并且在探测器设计上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号，实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测；结合选配的STEM探测器，还可以实现明场像和暗场像的观测；此外在半导体应用中，还可以安装EBIC探测器，采集感生电流图像，极大丰富了信号的采集，对样品的信息的收集达到了新的高度、�/p>

特点９�/strong>

1. 优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可�?.3nm

2. 日立**的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品

3. 配置Lower、Upper和Top三个Everhart-Thornley型探测器

4. Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像

5. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功胼�/p>

6. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功胼�/p>

7. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完�