SpecEl-2000-VIS椭偏�?/strong>通过测量基底反射的偏振光，进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。波长范�?00-900nm。SpecEl通过PC控制来实现折射率，吸光率及膜厚的测量、�/p>

集成的精确测量系绞�/h2>

SpecEl由一个集成的光源，一个光谱仪及两个成70��的偏光器构成，并配有一�?2位操作系统的PC.�?strong>椭偏�?/strong>可测�?.1nm-5um厚的单膜，分辨率0.1nm，测量时�?-15秒，并且折射率测量可�?.005%、�/p>

配置说明

波长范围:	380-780 nm (标准) �?50-900 nm (可�?
光学分辨玆�	4.0 nm FWHM
测量精度:	厚度0.1 nm ; 折射� 0.005%
入射觑�	70��
膜厚:	单透明�?-5000 nm
光点尺寸:	2 mm x 4 mm (标准) � 200 ?m x 400 ?m (可�?
采样时间:	3-15s (*�?
动态记彔�	3 seconds
机械公差 (height):	+/- 1.5 mm� 角度 +/- 1.0��
膜层�?	至多32屁�/td>
参耂�	不用