上海奥法美嘉生物科技有限公司
已认?/p>
SemiChem单槽壁挂弎/span>在线浓度监测?/span>
SemiChem单槽壁挂弎/strong>在线浓度监测?/strong>为工程师提供了准确性、可靠性和灵活性的过程监控,可以提高效率、保证晶圆制造的一致性,以满足更高的良率咋/span>容错的要求。在竞争激烈的微电子工业中,如枛/span>不使用复杂的监测和控制来确保晶圆制造的一致性,晶圆的制造成本将大大提高
我们皃/span>SemiChem单槽壁挂弎/strong>在线浓度监测?/strong>允许定量化学浓度。全?/span>线化学监测能够实时校正溶液成分,从而稳定控制工艺条件、保持产品的一致性
监控工艺过程中溶液的组分信息能够增加产品的产量。可能影响产品质量的变化在检测时会立即显现出来,并在产品质量受损之前迅速纠正
产品选项
多个样本
额外皃/span>5 mL数字滴定
附加传感
安全联锁装置
试剂低液位检
优势
增加工具产量
降低化学品成
实时过程监控
降低批量损失
降低所有者成?/span>
应用
铜化学机械抛
钨化学机械抛
湿法蚀
清洁
DSP+
氮化物蚀
PAN蚀
食人鱼蚀
HF
产品特点
4?-20 mA 模拟输出
8个可编程继电
以太网和 RS232 串口
彩色触摸屎/span>
集成试剂储存
单采样点
1?mL数显滴定
多个传感器输?/span>
规格
分析方法 | 电位?标准加入?光度泔/span> |
精确?/span>1 | ±0.2%显示倻/span> |
误差?/span>1 | 0.2%相对误差 |
测量时间 | 少于5分钟/分析(取决于应? |
校准频率 | 自开始起2 |
样品消耗量 | 小于5 mL/欠/span> |
样品野/span> | 0.055 mL(取决于应用(/span> |
样品温度 | 低于93?200? |
耗水野/span> | 少于1000mL/欠/span> |
样品入口/返回 | 小于30 psi |
0.5?分钟 | |
1/4“/span>外径扩口接头 | |
1“/span>FPT密封联轴?/span> | |
去离子水 | 20-40 psi |
2?分钟 | |
1/4“/span>外径扩口接头 | |
CDA | 60-80 psi |
1/4“/span>外径快速接夳/span> | |
过程排放 | 3/4“/span>NPT重力排放 |
机箱排水 | 1/2“/span>NPT重力排放 |
电源 | 110 /220 VAC+/span>50 /60 Hz+/span>1 /0.5A现场可切捡/span> |
排水 | 17/8 OD @ 17 CFM |
外形尺寸 | 39.00“/span>H x 27.00“/span>W x 16.00“/span>D |
1仅指“硬件”。应用、化学和工艺条件等外部因素会影响系统准确度和精密度
2这不包括pH传感器的校准。有关详细信息,请参阅安装和操作手册、/span>Entegris相信此处包含的数据是真实的,所表达的意见是合格专家对所进行测试的结果的看法,这些数据不应被视为Entegris承担法律责任的保证或陈述。提供的数据仅供考虑、调查和验证。对这些数据和信息的任何使用郼/span>必须由用户决定,以符合联邦、州和当地的法律法规。所有规格如有更改,恕不另行通知、/span>
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企业名称
上海奥法美嘉生物科技有限公司企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)信用代码
91310115560134824G法人代表
刘月宽/span>注册地址
上海市闵行区新骏环路588?3?02宣/span>成立日期
2010-08-09注册资本
500??有效期限
2010-08-09 2030-08-08经营范围
从事生物科技、医药科技、计算机科技、系统集成科技领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,仪器仪表、化工产品(除危险品)及中间体的研发,仪器仪表、电子产品的设计、生产、制造、维修服务,设备租赁,计算机维修,化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、化妆品、日用品、五金交电、电气设备、机械设备、电子产品、计算机、仪器仪表、实验室仪器的销售,房屋租赁,从事货物及技术的进出口业务,商务信息咨询,质检技术服务,认证服务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动
400-810-0069?/em>9448