
涓婃捣濂ユ硶缇庡槈鐢熺墿绉戞妧鏈夐檺鍏徃

宸茶璇?/p>
涓浗绮変綋缃戣璇佺數璇濓紝璇锋斁蹇冩嫧鎵掽/p>
鍏ㄦ枃鍏包span style="color: rgb(192, 0, 0);">2748瀛楋紝闃呰澶х害闇€瑕?nbsp;9鍒嗛挓
鎽樿锛欬/span>鍖栧鏈烘鎶涘厜/骞冲潶鍖 (CMP) 鏄竴绉嶅箍娉涚敤浜庡井鐢靛瓙琛屼笟鐨勫伐鑹猴紝閫氳繃鍖栧鍔涘拰鏈烘鍔涚殑缁撳悎鏉ュ钩婊戣〃闈€€傝宸ヨ壓浣跨敤纾ㄨ殌鎬у拰鑵愯殌鎬х殑娴嗘枡鏉ュ府鍔╁钩鏁存櫠鐗囪〃闈€€侰MP娴嗘枡鏄撼绫崇骇纾ㄧ矑鍜屽叾浠栧寲瀛﹀搧鐨勫鏉傛贩鍚堢墿锛屽寘鎷〃闈㈡椿鎬у墏銆乸H 璋冭妭鍓傘€佹哀鍖栧墏銆佹湁鏈洪吀鍜岀粶鍚堝墏銆傜(鏂欑殑绮掑害鍒嗗竷鏄互澶氱鏂瑰紡褰卞搷鏁翠釜杩囩▼鐨勫叧閿弬鏁般€傜(鏂欏钩鍧囧昂瀵稿拰鍒嗗竷瀹藉害浼氬奖鍝嶆潗鏂欏幓闄ょ巼(MRR)銆侟/span>
澶ч绮掕鏁?LPC) 鐨勫瓨鍦ㄤ細瀵艰嚧鍒掔棔鍜岀己闄凤紝浠庤€屽浜ч噺浜х敓鏈夊褰卞搷銆侺PC 鏈川涓婃槸鍒嗗竷鐨勫彸渚э紙杈冨ぇ锛夊熬閮紝閫氬父琚弿杩颁负棰楃矑娴撳害锛屽崟浣嶄负counts/mL > 1 碌m锛屽敖绠$‘鍒囩殑灏哄鑼冨洿鍥犲簲鐢ㄨ€屽紓銆備笉鍚岀殑鍒嗘瀽鎶€鏈敤浜庢祴閲忓钩鍧囧ぇ灏忓拰灏鹃儴銆傛病鏈変换浣曚竴鍙颁华鍣ㄥ彲浠ュ湪鏁翠釜鍔ㄦ€佽寖鍥村唴鎻愪緵鎵€鏈夋墍闇€鐨勬暟鎹€傚姩鎬佸厜鏁e皠(DLS)閫氬父鐢ㄤ簬娴嬮噺骞冲潎灏哄锛岃€屽崟绮掑瓙鍏夊浼犳劅鎶€鏈?SPOS)鐢ㄤ簬娴嬮噺 LPC 灏鹃儴銆侟/p>
1 骞冲潎绮掑害涓庡熬绔ぇ棰楃矑
鍥?鏄剧ず浜嗛€氳繃 CMP 娴嗘枡涓娇鐢ㄧ殑鍥涚纾ㄦ枡鐨勫姩鎬佸厜鏁e皠娴嬮噺鐨勫钩鍧囩矑搴︼細浜屾哀鍖栫銆佷簩姘у寲閾堛€佹哀鍖栭摑鍜岃兌浣撲簩姘у寲纭呫€傛敞鎰忓钩鍧囧ぇ灏忓拰鍒嗗竷瀹藉害鐨勫彉鍖栥€侟/p>
鍥 1. 骞冲潎澶у皬涓庡垎甯冨熬閮?/p>
鏄剧ず鐨勫钩鍧囧昂瀵告暟鎹槸浣跨敤 Nicomp庐 DLS 绯荤粺鏀堕泦鐨勩€備竴涓崟鐙殑搴旂敤璇存槑渚ч噸浜庢祴閲廋MP娴嗘枡鐨勫钩鍧囩矑寰勫拰zeta 鐢典綅銆傞€氬父浣跨敤鍗曢绮掑厜瀛︿紶鎰熸妧鏈祴閲忓熬閮ㄣ€侫ccuSizer庐 瀹為獙瀹ゅ拰鍦ㄧ嚎绯荤粺琚祮鏂欏埗閫犲晢銆佺爺绌朵汉鍛樺拰涓栫晫鍚勫湴鐨勬櫠鍦嗗巶浣跨敤銆侟/p>
鏈簲鐢ㄧ殑閲嶇偣鏄娇鐢 AccuSizer 浠櫒绯诲垪瀵 CMP娴嗘枡杩涜瀹為獙瀹ゆ祴閲忋€傚疄楠屽涓敤浜庢祴閲廋MP娴嗘枡LPC鐨勬ā鍨嬪寘鎷 AccuSizer A7000 AD銆丄ccuSizer A7000 APS 鍜 AcccuSizer A7000 FX Nano 绯荤粺銆侟/p>
鍥 2. LE400 浼犳劅鍣ㄥ拰鎿嶄綔
3 AccuSizer 绯荤粺缁勪欢
鎵€鏈 AccuSizer 绯荤粺閮藉寘鎷竴涓紶鎰熷櫒銆佽剦鍐查珮搴﹀垎鏋愪华锛堣鏁板櫒锛夊拰鐢ㄤ簬绋€閲婂拰浼犺緭鏍峰搧鐨勬祦浣撱€傜浉鍚岀殑 1024 閫氶亾璁℃暟鍣ㄧ敤浜庢墍鏈夌郴缁燂紝骞舵墽琛屽皢鏉ヨ嚜浼犳劅鍣ㄧ殑鑴夊啿杞崲涓轰娇鐢ㄦ牎鍑嗘洸绾跨殑棰楃矑澶у皬鍜岃鏁扮殑浠诲姟銆傛牴鎹牱鍝佽姹傞€夋嫨涓ょ浼犳劅鍣ㄥ瀷鍙凤紝LE400鍜 FX Nano銆傚浘2涓殑LE400浼犳劅鍣ㄦ祴閲忚寖鍥翠负0.5鈥?00 碌m锛屽苟瀵归€氳繃绯荤粺鐨勬瘡涓矑瀛愯繘琛岃鏁帮紝鎻愪緵100%鐨勮鏁版晥鐜囥€傝浼犳劅鍣ㄤ娇鐢ㄥ噯鐩存縺鍏夋潫浠ュ強鍏夐伄钄藉拰鍏夋暎灏勬娴嬪櫒鏉ユ彁渚涙瀬瀹界殑鍔ㄦ€佽寖鍥淬€傛祿搴﹂檺鍒剁害涓?0,000涓矑瀛?mL銆傚浘3涓殑 FX Nano浼犳劅鍣ㄤ娇鐢ㄨ仛鐒︽縺鍏夋潫浠呭湪娴侀€氭睜鐨勬涓績杩涜娴嬮噺銆傜敱浜庤仛鐒﹀厜鏉熷拰闈炲敮涓€鐨勮剦鍐蹭笌绮掑瓙澶у皬鐨勫叧绯伙紝璇ヤ紶鎰熷櫒闇€瑕佷竴绉嶄笓鏈夌畻娉曟潵灏嗙矑瀛愯剦鍐茶浆鎹负澶у皬銆侳X Nano浼犳劅鍣ㄥ彲娴嬮噺浣庤嚦0.15 碌m锛屽苟涓斿彲浠ユ祴閲忔洿楂樼殑娴撳害锛?06涓矑瀛?mL锛夈€侳X Nano 鍜 LE400 浼犳劅鍣ㄧ殑缁勫悎鎻愪緵 0.15鈥?00 碌m 鐨勫姩鎬佽寖鍥淬€侟/p>
鍥 3. FX Nano 浼犳劅鍣?/p>
鏈変袱绉嶇█閲婃祦浣撻€夐」鍙敤浜庣█閲婃牱鍝併€佹帶鍒堕€氳繃浼犳劅鍣ㄧ殑娴侀€熶互鍙婂湪姣忔娴嬮噺鍚庡啿娲椾互娓呮磥绯荤粺銆傜劧鍚庯紝杞欢浼氬湪鐢ㄦ埛閫夋嫨鐨勫涓昂瀵搁€氶亾涓绠楀師濮嬫湭绋€閲婃牱鍝佷腑鐨勫疄闄呮祿搴︺€侟/p>
4 AccuSizer AD 绯荤粺
AccuSizer A7000 AD 绯荤粺鏄竴绉嶅崟绾ф寚鏁扮█閲婄郴缁燂紝鍖呭惈 LE 400 浼犳劅鍣ㄣ€侫ccuSizer A7000 AD 绋€閲婃祦浣撳浘锛堟湭鎸夋瘮渚嬶級濡傚浘4鎵€绀恒€侟/p>
鍥 4. AccuSizer AD 绯荤粺
灏嗘牱鍝佹敞鍏ョ█閲婂骞剁珛鍗冲紑濮嬬█閲娿€傛憾鍓傦紙鍘荤瀛愭按锛変互鐩稿悓鐨勬祦閫熸坊鍔犲埌鑵斿涓紝鏍峰搧閫氳繃浼犳劅鍣ㄦ娊鍙栥€傜洃娴嬫祿搴︼紝褰撴祿搴︿綆浜庝紶鎰熷櫒鐨勯噸鍚堟瀬闄愭椂寮€濮嬫祴閲忋€傛祴閲忓畬鎴愬悗锛岀郴缁熶細鑷姩鍐叉礂鑷冲彲鎺ュ彈鐨勮儗鏅按骞炽€侫ccuSizer A7000 APS 绯荤粺 AccuSizer A7000 APS 绯荤粺鍦ㄥ崟涓郴缁熶腑鏁村悎浜嗗崟绾у拰涓ょ骇绋€閲婃祦浣撱€侫ccuSizer A7000 APS 涓ょ骇绋€閲婃祦璺浘濡傚浘 5 鎵€绀恒€侟/p>
鍥? AccuSizer A7000 APS 涓ょ骇绋€閲婃祦璺浘
AccuSizer A7000 APS 绯荤粺鍙互鍦ㄥ绉嶆ā寮忎笅杩愯銆傚湪涓ょ骇绋€閲婁腑鎿嶄綔鏃讹紝鏍峰搧琚惛鍏ヤ綋绉负 VL 鐨勬牱鍝佸畾閲忕幆銆傚綋鏍峰搧瀹氶噺鐜敞鍏ヤ綋绉负 V1 鐨勭█閲婂鏃讹紝绋€閲婄殑绗竴闃舵鍙戠敓銆傜█閲婄殑绗竴闃舵鏄 V1/VL銆傚綋绋€閲婄殑鏍峰搧娴 F1 涓庤繃婊ゆ按 FD 娣峰悎鏃讹紝浼氬彂鐢熺浜岄樁娈电殑绋€閲娿€傛€绘祦閲 F 娴佺粡浼犳劅鍣ㄨ繘琛屽垎鏋愩€傝繖绉嶆柟娉曞厑璁稿湪娴嬮噺杩囩▼涓繚鎸佺ǔ瀹氱殑娴撳害銆備负浜嗘洿濂藉湴鏄剧ず杩欎袱绉嶈嚜鍔ㄧ█閲婃柟娉曪紙AccuSizer A7000 AD 涓 APS 绯荤粺锛変箣闂寸殑宸紓锛屽浘 6a 鍜 6b 鏄剧ず浜嗘暟鎹敹闆嗚繃绋嬩腑璁℃暟涓庢椂闂寸殑姣旇緝銆侟/p>
鍥?a AccuSizer A7000 AD绋€閲婄郴缁烖/p>
鍥?b AccuSizer A7000 APS绋€閲婄郴缁烖/p>
娉ㄩ噴瑙h锛欬/p>
鍥?a涓殑鏃堕棿鍘嗙▼鍥炬潵鑷湪 AccuSizer A7000 AD 绯荤粺涓婃祴閲忕殑娴撶缉姘у寲閾堟祮鏂欍€傛祿搴︼紙璁℃暟/姣崌锛夊紑濮嬫椂闈炲父楂橈紝鍦ㄦ祴閲忓紑濮嬪墠闇€瑕佽秴杩 120 绉掔殑绋€閲婃椂闂淬€傜劧鍚庡湪鏍峰搧浠嶈绋€閲婃椂杩涜娴嬮噺銆傚浘 6b 涓殑鏃堕棿鍘嗙▼鍥炬潵鑷簩姘у寲纭 CMP 娴嗘枡锛屽叾涓祿搴﹀湪搴忓垪寮€濮嬫椂鏄彲鎺ュ彈鐨勶紝浣嗘祴閲忕洿鍒 30 绉掑钩琛℃椂闂村悗鎵嶅紑濮嬨€傜劧鍚庝互绋冲畾鐨勮鏁?姣崌閫熺巼杩涜娴嬮噺銆傝繖绉嶆柟娉曢€傜敤浜 LPC 鑼冨洿鍐呰鏁扮巼杈冧綆鐨勬牱鍝侊紝浠ヤ究鏀堕泦鐨勮鏁版€绘暟鍦ㄧ粺璁′笂鏈夋晥锛屼互鑾峰緱鍑嗙‘銆佸彲閲嶅鐨勭粨鏋溿€侟/p>
5 AccuSizer FX Nano 绯荤粺
AccuSizer A9000 FX Nano 绯荤粺鏄竴绉嶅崟绾ф寚鏁扮█閲婄郴缁燂紝鍖呭惈 LE 400 鍜 FX Nano 浼犳劅鍣ㄣ€傜█閲婃祦浣撲笌鍥? 涓墍绀虹殑绫讳技锛岀█閲婄殑鍙戠敓绫讳技浜 AccuSizer A7000 AD绯荤粺銆傛牱鍝佹祴閲忓湪涓変釜鑼冨洿鍐呰繘琛屻€傝绯荤粺棣栧厛浣跨敤浣庡鐩?.fyl)鍔犱笂 LE400 鑼冨洿(.led) 鐨 FX Nano 浼犳劅鍣ㄦ敹闆嗘暟鎹€傜劧鍚庣郴缁熶互楂樺鐩?.fyh)鍒囨崲鍜屾祴閲廎X Nano 浼犳劅鍣ㄣ€傛敹闆嗘墍鏈変笁涓寖鍥村悗锛屾墍鏈変笁涓粨鏋滄枃浠惰鍚堝苟鍒颁竴涓枃浠?.fyc)涓鐩栨暣涓姩鎬佽寖鍥淬€侟/p>
AccuSizer A9000 FX Nano 绯荤粺闈炲父閫傚悎鍦ㄥ鍔ㄦ€佽寖鍥村唴鎻愪緵浣庤嚦0.15碌m 鐨勭伒鏁忓害銆備竴浜涢潪甯稿共鍑€鐨勮兌浣撲簩姘у寲纭呮祮鏂欐渶濂戒娇鐢 FX Nano 绯荤粺杩涜鍒嗘瀽锛屽叾涓渶瑕?.15 碌m鐨勭伒鏁忓害鎵嶈兘鏀堕泦瓒冲鐨勮鏁颁互杈惧埌缁熻涓婄殑鏈夋晥鎬с€傝绯荤粺涔熷湪 Entegris 鍐呴儴鐢ㄤ簬娴嬭瘯 CMP娴嗘枡鐨勮繃婊ゅ櫒淇濈暀銆侟/p>
6 绀轰緥缁撴灉
鍦ㄩ€氳繃 Entegris Planarcap庐 NMB 鍒嗛厤鐐 CMP娴嗘枡杩囨护鍣ㄨ繃婊や箣鍓嶅拰涔嬪悗锛屼娇鐢 AccuSizer A7000 AD 绯荤粺娴嬮噺 KLEBOSOL鈩 1501 鑳朵綋浜屾哀鍖栫 CMP 娴嗘枡銆備笂涓嬫父瀵规瘮缁撴灉濡傚浘 7 鎵€绀恒€侟/p>
鍥 7. AccuSizer A7000 AD 绯荤粺杩囨护鍓嶏紙绾㈣壊锛夊拰杩囨护鍚嶞/p>
璇ュ浘娓呮鍦版樉绀轰簡閫氳繃杩囨护杩囩▼鍘婚櫎鐨勪互 0.85碌m 涓轰腑蹇冪殑 LPC 宄般€侫ccuSizer A7000 AD 瀹為獙瀹ょ郴缁熷彲鐢ㄤ簬瀵逛紶鍏ョ殑 CMP 娴嗘枡杩涜 QC 妫€鏌ワ紝骞跺彲鐢ㄤ綔杩囨护鐮旂┒鐨勫伐鍏凤紝浠ョ‘瀹氭弧瓒崇粰瀹氭祮鏂欏拰宸ヨ壓瑕佹眰鐨勬渶浣宠繃婊ゅ櫒銆備娇鐢ㄤ互涓ょ骇绋€閲婃ā寮忚繍琛岀殑 AccuSizer A7000 APS 绯荤粺鍒嗘瀽浜屾哀鍖栫 CMP 娴嗘枡銆傚浘8鏄剧ず浜嗕竴涓吀鍨嬬殑缁撴灉锛屽畠鏄浘 6b 涓樉绀虹殑杩愯鏃舵暟鎹殑缁撴灉銆傚浘8涓殑琛ㄦ牸鏄剧ず浜嗕簲涓敤鎴烽€夋嫨鐨勫昂瀵歌寖鍥村唴鐨勯绮掓祿搴︺€傝鎶ュ憡鍙互瀹氬埗锛屼互鍦ㄨ璁や负瀵硅窡韪 LPC寰堥噸瑕佺殑鑼冨洿鍐呮樉绀哄拰鑱氱劍缁撴灉銆傛樉绀虹殑娴撳害鏄█閲婂墠鍘熷鏍峰搧涓殑瀹為檯娴撳害銆傛彁渚涘杈 1024 涓ぇ灏忛€氶亾鐨勫畬鏁磋〃鏍硷紝浠ュ強璁稿鎶ュ憡鏍煎紡銆侟/p>
鍥 8. CMP AccuSizer 绯荤粺 APS 缁撴灉
鍦ㄥ唴閮ㄥ煿璁绋嬫湡闂达紝鍦ㄥ弻浼犳劅鍣 AccuSizer A9000 FX Nano 绯荤粺涓婂垎鏋愪簡姘у寲閾 CMP 娴嗘枡銆傝鏍峰搧鎸?000:1 杩涜棰勭█閲婏紝鐒跺悗浣跨敤鍒嗘暎鍦 11.8 mL 瀹瑰櫒浣撶Н涓殑 0.5 mL 鏍峰搧瀹氶噺鐜繘琛屽垎鏋愩€傛瘡涓祴閲忚寖鍥寸殑 60 绉掗噰鏍锋椂闂翠负姣忔鍒嗘瀽骞冲潎浜х敓浜嗗ぇ绾?00,000 涓€荤矑瀛愭暟銆傛牱鍝佺敱鍥涗綅涓嶅悓鐨 Entegris鐜板満搴旂敤宸ョ▼甯堝垎鏋愶紝鍥涙鐙珛娴嬮噺鐨勭粨鏋滃鍥? 鎵€绀猴紝Y 杞达紙娴撳害锛変互瀵规暟鍒诲害鏄剧ず銆侟/p>
鍥 9. 姘у寲閾 CMP 娴嗘枡 AccuSizer FX Nano 绯荤粺缁撴灉
杩欎簺鐙珛鐨勭粨鏋滄樉绀哄嚭杈冨ソ鐨勯噸鐜版€с€傚洓涓鐩栧眰鍦 1 碌m 浠ヤ笅鍩烘湰涓婃棤娉曞尯鍒嗐€?0 碌m 浠ヤ笂鐨勫彉鍖栨槸鐢变簬杈冨ぇ灏哄鐨勭粺璁℃暟鎹緝宸€傜敱浜庤繖浜涙槸鍦?000:1 棰勭█閲婂拰娴佷綋鎸囨暟绋€閲婂悗璁$畻鐨勫疄闄呮牱鍝佹祿搴﹀€硷紝10 碌m 浠ヤ笂鐨勫彉鍖栧彲鑳芥潵鑷崟涓矑瀛愩€侟/p>
7 缁撹
AccuSizer 瀹為獙瀹ょ矑搴﹀拰璁℃暟鍒嗘瀽浠郴鍒楅潪甯搁€傚悎娴嬭瘯 CMP 娴嗘枡涓殑 LPC銆侫ccuSizer 绯荤粺鐨勪紭鍔垮寘鎷渶瀹界殑鍔ㄦ€佽寖鍥?0.15 鈥 400 碌m)銆佸鏉傜殑鑷姩绋€閲婃祦浣撱€佸厛杩涚殑鎶ュ憡閫夐」浠ュ強琚 CMP 娴嗘枡鍒堕€犲晢鍜屾櫠鍦嗗巶鏈€缁堢敤鎴峰箍娉涙帴鍙椼€侲ntegris 寤鸿灏嗘祮鏂欐牱鍝佸彂閫佸埌鎴戜滑鐨勫簲鐢ㄥ疄楠屽杩涜鍒嗘瀽鍜屽鏌ワ紝浠ヤ究鎴戜滑鍙互閽堝鐗瑰畾娴嗘枡鍜屽鎴疯姹傛帹鑽愭渶浣崇郴缁熼厤缃€侟/p>
鎶€鏈枃绔燑/p>2024-08-30
鎶€鏈枃绔燑/p>2024-08-07
鎶€鏈枃绔燑/p>2024-04-16