关键诌�粒度分析�?AccuSizer®系统;激光衍尃�/strong>

1 什么是ACCUSIZER系统

使用单颗粒光学传� （SPOS� 技术的颗粒计数器和粒度分析仪。具有多种配置可选，但所有系统都包括SPOS传感器，脉冲高度分析仪（或计数器）和样品流通池，用于通过传感器传输样品。许多样品流通池自动将样品稀释至最佳浓度，以获得最准确的结果。在多达 1024 个粒径通道中报告粒径分布信息、�/p>

� 1. 0.5 � 10um之间区分6个粒径峰

2 它不是什么？

这不是像激光衍射那样需要RI等物理特性和复杂的反卷积算法的集成技术。粒子直接定量并一次计数一个，提供比光散射技术更准确和更高分辨率的结果、�/p>

3 这种技术的优点是什么？

�?nbsp; 准确�?/p>

—直接测量每个颗粑�/p>

�?nbsp; 浓度

—出具准确的颗粒/mL 结果

�?nbsp; 分辨玆�/p>

—无分布增宽

� 将多个峰与基线区分（�?（�/p>

� 检测少量的尾部颗粒

�?.LE400传感�?计数器图

在许多行业中，尾部颗粒检测至关重要。如果主峰之外的几个大颗粒对产品性能有害，为什么不使用对大颗粒计数（LPC）具有最高灵敏度的技术呢？AccuSizer SPOS系统在检测少量尾部颗粒分布方面优于激光衍射。AccuSizer SPOS系统集成了许多独特的技术，包括９�/p>

�?nbsp; 自动稀释、一步稀释和多步稀释、�/p>

�?nbsp; 传感器技�?/p>

—消�?散射LE传感�?/p>

—聚焦光� FX Nano 传感器，检测下限低� 150 nm

�?nbsp; 根据您的流程定制的在线系统（AccuSizer Mini FX系统，图3（�/p>

4 目前谁正在使用ACCUSIZER SPOS系统＞�/strong>

AccuSizer SPOS系统是检测CMP研磨液尾部颗粒的行业标准。制药行业使� AccuSizer 系统检测脂肪乳中的大颗� （PFAT5）、USP <788> 测试和蛋白质聚集研究。喷墨墨水等等，不胜枚举，在全球范围内的各行各业有数千台安装、�/p>

�?. AccuSizer Mini FX系统、�/p>

5 ACCUSIZER SPOS系统准确度？

创建粒度分布的最准确方法是单独测量每个颗粒。AccuSizer系统对通过传感器检测区域的每个颗粒进行粒径检测和计数，并一次构建一个颗粒的分布。这将创建准确、高分辨率的结果。图4显示了通过45μm筛网的样品。蓝色的线是AccuSizer SPOS系统测试结果，其清楚地显示了尾端断崖式的分布，而红色的线是激光衍射结果，其显示了广的粒径分布曲线，包括不存在�?gt;100μm的颗粒、�/p>

�?.AccuSizer系统一次构建一个颗粒的分布，提供准确的结果、�/p>

一项针对微电子行业发表的研�?显示了AccuSizer SPOS系统与其他技术相比，其灵敏度和分辨率的表现。在二氧化硅、氧化物CMP研磨液体中加入在1 μm SiO2颗粒，测试不同技术在识别�? μm SiO2颗粒能力的表现。据报道，AccuSizer系统的检测限�?.07 mg/mL，而激光衍射技术的结果（C）为100 mg/mL，相�?428X（图5）、�/p>

�?.SiO2颗粒检测研究、�/p>

颗粒浓度衍射分布

� 6a.AccuSizer 系统对加标了CMP的测试结果、�/p>

粒度分布

� 6b.激光衍射对加标CMP的测试结果、�/p>

�?013年进行的一项研究中，我们用1.36μm PSL标准品加标至二氧化硅CMP研磨液，以确定检测到尾部大颗粒所需的浓度。当� 3.4 μL PSL 注入 250 mL 原液 CMP 研磨液中时，AccuSizer FX（POU� 系统可以检测第二个群体峰（� 6a）�?

�?b显示了采用激光衍射仪的方式首次检测加标峰的数据，360 μL加标�?.3 mL原液CMP研磨液中。这表明SPOS和激光衍射法的检测限差异� 615X。另外请注意，当激光衍射结果最终检测到加标峰的存在时，它拓�?.36μm PSL标准分布、�/p>