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多晶硅原料三氯氢硅合成方法获专利
2991 2010-08-17
日前,广州吉必盛科技实业有限公司合成多晶硅原料三氯氢硅的方法获得国家发明专利授权 该方法可将三氯氢硅收率从82%提高?8%以上。截至目前,吉必盛公司共获得授权专利15项,其中发明专利11项,实用新型专利4项