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国产8英寸碳化硅量产加速!
2220 2023-10-24

中国粉体网讯三安光电宣布,旗下子公司湖南三安8英寸碳化硅衬底已完成开发,产品进入小批量生产及送样阶段、/p>


据介绍,湖南三安依托精准热场控制的自主PVT工艺?英寸碳化硅衬底实现更低成本及更低缺陷密度,后续将持续提升良率,加快设备调试与工艺优化,并持续推进湖南与重庆工厂量产进程、/p>


据了解,2021?月,总投?60亿元的湖南三安半导体产业园项目一期正式点亮投产;2022?月,项目二期开建,总投资为80亿元,达产后配套年产能为36万片。今?月,三安光电宣布与意法半导体签署协议,将在重庆建?英寸碳化硅器件合资制造厂。按照计划,该合资厂全部建设总额预计约达32亿美元(约合227.8亿人民币),将于2025年第四季度投产,预计?028年全面建成、/p>


三安光电是中国第一家、全球第三家实现全产业链垂直整合的企业,产业链布局包括长晶—衬底制作—外延生长—芯片制备—封装。“碳化硅产业发展初期实现垂直整合,能够很好应对不同场景的可靠性问题。”一名产业人士如是称、/p>


三安光电碳化硅器件上车进展加速。据了解,该公司推出?50V-1700V宽电压范围的SiC MOSFET,产品具备高性能、高一致性和高可靠性等特点,并可根据客制化要求,提供多种灵活工艺方案。其中,1700V/1000mΩ MOSFET主要使用在光伏逆变器的辅助电源?200V/75mΩ MOSFET则主要应用于新能源汽车的OBC,两款产品均处于客户端导入阶段,将逐步批量供货?200V /16mΩ车规级芯片已在战略客户处进行模块验证,预计于2024年正式上车量产、/p>


碳化硅行业三个重点环节(衬底、外延和器件)中,衬底在产业链中价值量占比最高,接近50%。碳化硅市场?英寸为主流,?英寸能够生产的晶粒数约为6英寸SiC晶圆?.8倍,晶圆利用率和产能将会显著提高,可将单位综合成本降 50%、/p>


有产业人士称,今年将会是8英寸碳化硅元年。今年以来,国际功率半导体巨头Wolfspeeed、意法半导体等加速发?英寸碳化硅。而国内市场来看,碳化硅设备、衬底及外延环节亦迎来突破性进展,并且多家行业龙头选择与国际功率半导体巨头联手、/p>


除三安光电外,天科合达去年年底发?英寸导电型碳化硅衬底产品,并宣布将于今年内实?英寸导电型碳化硅衬底小规模量产。今?月,天科合达与英飞凌签署长期协议,天科合达将提供200毫米?英寸)直径碳化硅材料,帮助英飞凌?00毫米直径晶圆的过渡、/p>


天岳先进此前亦曾表示,公司已经具?英寸导电型碳化硅衬底的量产能力。在今年的Semicon China展会上,天岳先进公布了业内首创的采用液相法制备出了低缺陷?英寸晶体,通过热场、溶液设计和工艺创新,突破了碳化硅单晶高质量生长界面控制和缺陷控制难题。天岳先进在今年5月与英飞凌签订了一项新的晶圆和晶锭供应协议,供货碳化硅6英寸衬底、合作制?英寸衬底、/p>


晶盛机电此前宣布,公司已掌握行业领先?英寸碳化硅衬底工艺和技术,成功生长?英寸N型碳化硅晶体,解决了8英寸碳化硅晶体生长过程中温场不均,晶体开裂、气相原料分布等难点问题。晶盛机电此前亦宣布将会在今年内实现8英寸产品小批量量产、/p>


科友半导体实现了6英寸SiC单晶衬底的规模生产和批量供货,以?英寸SiC单晶衬底的小批量生产及供货。今?月,科友首批自产8英寸SiC衬底,于科友产学研聚集区衬底加工车间成功下线、/p>


(中国粉体网编辑整理/空青(/p>

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