中国粉体网讯6?6日,苏州市科学技术局官网发布了关?024年度苏州市面向全球“揭榜挂帅”关键核心技术攻关需求的公示。其中,高纯合成石英制备关键技术入选!
技术需求名?高纯度合成石英制备关键技?/p>
(一)任务内宸/p>
高纯?strong>合成石英玻璃是高精度光学仪器的关键材料,高精度光学仪器对石英材料指标要求极高。本项目通过研究和开发石英玻璃高均匀控制技术、超低应力控刵/p>
技术、超低金属杂质含量控制技术、缺陷控制技术和渗氢技术,实现高纯度合成石英材料开发、/p>
(二)关键考核指标
(1)石英玻璃光学均匀??ppm;
(2)石英玻璃内透过玆193nm透过率≥99.5%;
(3)石英玻璃应力双折尃?nm/cm;
(4)石英玻璃条纹(3D):无可见条纸
(5)石英玻璃杂质总含野?0ppb;
(6)氢分子含野>1x1016/cm3、/p>
石英玻璃是应用日益广泛的高新技术材料。石英玻璃的成分为二氧化硅,具有透光性高、耐温性好、膨胀系数低等优越的物化性质,因此被广泛应用于半导体、光伏、光学、光纤和军工等高新技术领域、/p>
据了解,合成石英玻璃是先制备高纯SiCl4,用SiCl4制成高纯二氧化硅粉,再用二氧化硅粉制造合成石英玻璃。自然界中水晶矿石的SiO2含量最?一般为99.99%,其中含有金属杂质总量?0-100ppm,经过物理化学提纯后,SiO2最高含量为99.999%,由于矿石中的微量包裹体,导致Al含量比较高,总金属杂质含量在10~30ppm,仍不能满足特殊产品的要求,比如光纤预制棒、集成电路中光刻工序的掩膜片等高科技行业,均要求SiO2的金属含?lt;1ppm,因而需要开展合成SiO2的研究和生产,以满足高科技产业的需求、/p>
参考来源:
[1]周全等,石英砂提纯及石英玻璃加工工艺的研穵/p>
[2]苏州市人民政府;苏州市科学技术局;中国粉体网
(中国粉体网编辑整理/九思)
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