Park NX-Hybrid WLI

全自动工� WLI-AFM 系统

Park NX Hybrid WLI是有史以�?*款具有内置WLI轮廓仪的AFM，用于半导体和相关制造质量保证。例如半导体前端、后端到高级封装的过程控制，以及研发计量。它适用于那些需要在大面积上进行高吞吐量测量的设备，这些设备可以缩小到具有亚纳米分辨率和超高精度的纳米级区域�

半导体计量的两种**互补技术、�/h3>

• WLI: 白光干涉测量是一种光学技术，它可以对非常宽的区域进行成像，速度非常快，满足高吞吐量测量、�/p>

• AFM: 原子力显微镜是一种扫描探针技术，即使对透明材料也能提供*精确的纳米级分辨率测量、�/p>