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牛津仪器科技（上海）有限公司
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产品分类
产品简今/div>
【技术参数【/strong>
栶/span>品室玻璃腔体尺寸 |
120mm ? x 120mm H，高强度不锈钢结枃/span> |
样品台尺寷/span> |
可放?/span>12个标准钉形样品台，高度可?/span>30mm内调芁/span> |
蒸镀溏/span> |
高纯度碳棒，直径6.15mm |
蒸镀控制系统 |
微处理器控制，远程电?/span>/电压感应?*电流180A，程序化数字控制：/span> 提供真空安全联锁装置，配有过流保护； |
模拟计量 |
真空Atm - 0.001mb电流: 0 200A |
控制方式 |
自动蒸镀控制；可选择手动操作，也可通过控制数字定时?/span>(1 30科/span>)及电压设宙/span>(0.1 to 5.5V)实现自动蒸镀控制；自动放气功能； |
机械泴/span> |
2L/s＋/span>25-30s内真空度下降?/span>0.1mb |
工作电压 |
220V, 50/60HZ |
膜厚监控仪（选配（/span> |
通过6MHz石英晶体进行原位监控，显示纳米级厚度，碳厚度可精确到0.1nm |
适用配套 |
Zeiss, JEOL, Hitachi, FEI, Tescan, Phenom等扫描电镛/span> |
【产品详情【/strong>
Agar全自动喷碳仪为英国进口设备，操作简单，适用于扫描电镜样品制备等。喷碳仪使用高纯度碳棒，更容易实现在高倍下得到高质量的镀膜效果，以便对样品进行形貌观察及进行能谱EDS或EBSD分析、/span>
喷碳仪使用的是碳棒，真空度相对来说要高一些；用碳棒的喷碳颗粒要细一些，同时对样品的加热温度也要高一些、/span>
样品台：
碳棒９/span>
膜厚监测仪：
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