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牛津仪器科技(上海)有限公司
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扫描电容显微镜(SCM(/span>是一种表征材料纳米电学性质的原子力显微镜(AFM)成像技术,它使用微波射频(RF)信号来探测半导体和其它种类样品中的电荷,载流子的位置,掺杂水平和掺杂类型(p型和n型)等。全新快速扫描电容显微镜 SCM可以在牛津仪器的 Asylum Research 的快速扫?nbsp;Cypher?nbsp;Jupiter XR AFM平台上使用、/span>
牛津仪器Asylum Research SCM模式的独特之处在于,它不仅可以测量微分电容(dC/dV),还可以测量分辨率低至1aF的电容,而且是可以直接测量电容。与传统的SCM相比,它具有更高的分辨率和更快的扫描速度。更高的灵敏度允许探测金属和绝缘体,以及传统半导体器件以外的非线性材料——包括那些不形成自然氧化物层的材料、/span>
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