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薄膜到厚膜的测量范围、UV~NIR光谱分析

高性能的低价光学薄膜量测仪

藉由**反射率光谱分析膜厙�/p>

完整继承FE-3000高端机种90%的强大功胼�/p>

无复杂设定，操作简单，短時間內即可上手

线�?小平方法解析光学常数（n:折射率、k:消光系数（�/p>

测量项目

• **反射率测野�/p>

• 膜厚解析�?0层）

• 光学常数解析（n：折射率、k：消光系数）

产品规格

	FE-300V	FE-300UV	FE-300NIR�?
对应膜厚	标准垊�/p>	薄膜垊�/p>	厚膜垊�/p>	超厚膜型
样品尺寸	**8寸晶圆（厚度5mm（�/p>
膜厚范围	100nm ~ 40μm	10nm ~ 20μm	3μm ~ 300μm	15μm ~ 1.5mm
波长范围	450nm ~ 780nm	300nm ~ 800nm	900nm ~ 1600nm	1470nm ~ 1600nm
膜厚精度	±0.2nm以內�?		-
重复再现性（2σ（�/p>	±0.1nm以內�?		-
测量时间	0.1s ~ 10s以內
量测口径	约�?mm
光源	鹵素�?/p>	UV用D2�?/p>	鹵素�?/p>	鹵素�?/p>
通讯界面	USB
尺寸重量	280（W）� 570（D）�?50（H）mm，约24kg
软体功能
标准功能	波峰波谷解析、FFT解析�?适化法解析�?小二乘法解析
选配功能	材料分析软件、薄膜模型解析、标准片解析

�?请于本公公司联系联系我们
�?对比VLSI标准样品�?00nm SiO2/Si），范围值同保证书所记载
�?测量VLSI标准样品�?00nm SiO2/Si）同一点位时之重复再现性。（扩充系数2.1（�/p>

应用范围

半导体晶圆膜（光阻、SOI、SiO2等）
光学薄膜（OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等（�/p>

测量范例

• PET基板上的DLC膛�/p>



• Si基板上的SiNx