特征９�/strong>

高单脉冲能量(>1.5mJ)及高平均功率(15W)：�br style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px;"/>

光束质量好M2<1.2，圆度高，加工均匀性好：�br style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px;"/>

脉冲能量稳定性好，加工效果一致性好：�br style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px;"/>

脉冲宽度�?lt;15ns@10kHz，热影响小；

可选风冷或水冷：�/span>

应用９�/strong>

半导体晶圆的切割、标识、打孔；

锂电池极耳的切割，焊接；

PCB电路板的切割、打孔；

激光精密调阻；

精密钻孔加工：�/span>

金属类材料切割、打标、打孔；

激光晶佒�/span>	Nd:YAG	Nd:YAG	Nd:YAG	Nd:YAG
波长	1064nm	1064nm	1064nm	1064nm
功率	2W	5W	5W	15W
工作频率	10kHz	10kHz	10kHz	10kHz
单脉冲能野�/span>	0.2mJ	0.5mJ	0.5mJ	1.5mJ
脉冲宽度	�?2ns	�?0ns	�?0ns	�?0ns
重频频率	1~30kHz	1~50kHz	1~50kHz	1~50kHz
光束质量	�?.2	�?.2	�?.2	�?.3
光斑圆度	�?0%	�?0%	�?0%	�?0%
脉冲稳定�?/span>	�?.5%	�?.5%	�?.5%	�?.5%
偏振方式	竖直	竖直	竖直	竖直
冷却方式	风冷	风冷	风冷	水冷