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德国MLase MLI-500准分子激光器
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德国
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德国MLase公司由准分子激?**Tuilaser公司前主要技术和领导负责人合作成立,其技术和管理源于Tuilaser公司,MLase公司专注于高品质的准分子激光的研发和制造,其产品广泛应用于医疗、科研和工业应用、/span>

主要技术参数:

型号

MLI-500

MLI-500

类型

准分子激光器

准分子激光器

工作物质

ArF

KrF

波长

193nm

248nm

重复频率?*(/span>

500Hz

500Hz

高电压开关技?/span>

固体开兲/span>

固体开兲/span>

能量

**能量

>14mJ

>18mJ

稳定能量

>10mJ

>14mJ

能量不稳定度

<3%

<3%

平均功率(稳定能量?*重频(/span>

5W

7W

脉冲宽度

脉冲宽度(FWHM,典型)

5-10ns

5-10ns

光束数据

光束尺寸(VxH(/span>

6mmx3mm

6mmx3mm

光束发散角(VxH(/span>

2mradx1mrad

2mradx1mrad

寿命

光学的寿命(稳定的能量)

>200Mio

>500Mio

管子寿命(脉冲)

>2Billion

>2Billion

冷却

冷却

被动风冷

被动风冷

占空循环

50%?min on

50%?min on

尺寸和重野/span>

设备尺寸(LxWxH)

**650x315x445mm

**650x315x445mm

设备重量

<66kg

<66kg

电力供应

**2000VA,单盷/span>

**2000VA,单盷/span>

MLase准分子激光器应用9/span>

1?/span>准分子眼科医疗;

2、布拉格光栅(FBG)刻写;

3、掩膜版检查;

4、脉冲激光沉积;

5、钻石雕刻;

6、微机械:/span>

7、光谱学研究

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