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LIMO光束传输系统
LIMO LD Bar BTS光束传输系统
LIMO光束传输系统简介:
德国Limo公司是世?*的微光学(Micro-optics)产品和半导体激光器(Diode Laser)的供应商,其微光学技术是业内公认的世?*,微光学产品的应用涵盖半导体激光准直、耦合透镜;高端激光微细加工光束的整形镜;光刻机上的核心光束均匀化物镜、/span>
光束传输系统主要功能是将二极管Bar输出的极端不对称的光束转变为基本对称光束,这样就可以使用一个对称聚焦的集成光束镜去准直或聚焦这束光 LIMO的快轴准直器有以下多种型号可供选择、/span>
发光尺寸/周期(um(/span> |
快轴发散角(FW@1/e2(/span> |
波长范围(nm(/span> |
产品型号 |
150/500 |
<8mrad |
790-990 |
BTS-123 |
150/500 |
<12mrad |
790-990 |
BTS-106 |
200/400 |
<12mrad |
790-990 |
BTS-101 |
150/500 |
<15mrad |
790-990 |
BTS-109 |
100/500 |
<6mrad |
790-990 |
CBTS-475 |
150/500 |
<8mrad+12mrad+15mrad |
600-1600 |
CBTS |
LIMO BTS光束传输系统主要特点9/span>
BTS(光束转折器)能够将非常不匀称的远场发射光整形成几乎圆形的光斑,并使用HOC将一束均匀光进行聚焦、/p>
另外Limo公司还提供紧凑型的BTS,这种紧凑型的BTS使得占地面积更小,提高费用的利用率、/p>
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