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北京欧屹科技有限公司
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产品分类
产品简今/div>
在PA系类设备的基础上，加装晶圆专用的装置，可以高效精确的测量SIC和蓝宝石这类光学性能特殊的产品的双折射和残余应力的信息、/span>
应力双折射测量仪主要特点９/span>
操作简单，测量速度可以快到3秒、/span>
视野范围内可一次测量，测量范围广、/span>
更直观的全面读取数据，无遗漏数据点、/span>
具有多种分析功能和测量结果的比较、/span>
维护简单，不含旋转光学滤片的机构、/span>
高达2056x2464像素的偏振相机、/span>
SIC
蓝宝矲/span>
| 项次 | 项目 | 具体参数 |
| 1 | 输出项目 | 相位差【nm】，轴方向?#176;】，相位差与应力换算（选配）【MPa【/span> |
| 2 | 测量波长 | 520nm |
| 3 | 双折射测量范図/span> | 0-130nm |
| 4 | 测量*小分辨率 | 0.001nm |
| 5 | 测量重复精度 | <1nm（西格玛（/span> |
| 6 | 视野尺寸 | 40x48mm?40x320mm（标准） |
| 7 | 选配镜头视野 | 不适用 |
| 8 | 选配功能 | 实时解析软件，镜片解析软件，数据处理软件，实现外部控刵/span> |
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