量产� 薄膜封装� 原子层沉积系绞�/strong>(R2R ALD)主要应用于有机半导体（（Micro)OLED，QD，OPV，钙钛矿光伏....)在线批量生产的薄膜封装（TFE�?可对平板Panel或柔�?Flexible)基底进行卷对卷（R2R）封裄�/strong>.

在OLED Panel厂产线有广泛应用�?/span>

主要应用９�/p>

-硅基WVTR(水蒸气透过�?的阻挡层

-Micro-OLED封装屁�/span>

-柔性衬底用阻挡屁�/span>

-OLED封装屁�/span>

-柔性OLED显示器、柔性OLED照明、量子点、柔性太阳能电池等高水分阻隔膜的卷对卷（R2R)ALD工艺９�/span>

特点９�/p>

1.ALD高k介质＋�/span>厚度均匀性好，保形步进覆盖、�/span>

2.先进的工艺套件和小体积的短周期室

3.实现了ALD机构(行波�?

4.小脚印全集成工艺模块

5.过程控制方便，供气线路长度小、�/span>

应用尺寸�?70*470mm�?30*920mm�?500*1850mm....