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半导体行业专用仪?/a>
其他
试验朹/a>
仪器简介:
* 应用领域
- 常规的光致发光测量;
- III-V 化合物半导体材料掺杂水平分析、合成组分分析、带隙分析等
- LD LED研发,生产中品质分析,控
-荧光检
-EPI-Wafer auto PL Mapping
-钻石,珠宝鉴定,内含物分析等
扩展使用:
-PLE(PL 激发)
-TRPL(time-resolved PL)
-TDPL(temperature dependent PL)
-Micro-PL
-Confocal PL
-nano PL by using Nsom(near -field scanning optical microscope
主要特点9/strong>
仪器特点9/p>
? 高品质及中等价位的PL扫描系统(可选配自动样品扫描装置,实现mapping功能):/p>
? 波长范围宽广(UV-VIS-NIR?:/p>
? 设备坚固,安全,更多于竞争公司产品的特点(如快速mapping检测)
? 噪声低,高PL信号探测:/p>
? 可选配多种激发源(多种波长激光源(/p>
? 设计紧凑,易于调谐;
? 各种激发激光源可选;
? 光谱分析软件可获得光谱带宽,峰值波长,峰值副瓣鉴别、光谱数据运算。。。、/p>
? 可实现同时对膜厚及反射率的检浊/p>
? 双PL峰分离功胼/p>
。。。。。。、/p>
本系统主要的特点9/strong>
1。除激光外,同时可使用分光计和样品chamber组合而成、/p>
2。利用He-Cd laser,laser power meter对可调节光强的ND filter和laser光强进行监控
3。分光计部分追加了一个port,不仅可以通过CCD探测器进行测定,也可通过PMT/IR Detector进行测定、/p>
4。为了去除来自分光计2nd order的光,利用laser line filter控制cut off filter和laser的plasma line、/p>
根据客户的需要可与如下装置一起装配:
1。PL+Micro Raman(显微拉曼系统(/strong>
2。PL+Cryostat(低温装置,4K,77K。。)
3。PL+PL?/p>
4。PL+PLE+ATQ/p>
。。、/p>
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