精密仪器供应商：安徽泽攸科技有限公司入驻粉享通

公司介绍：

泽攸科技成立于2016年，拥有安徽铜陵、北京、上海和东莞四家分公司，是一家具有完全自主知识产权的精密仪器高科技公司。公司专注于扫描电镜、原位测量系统、台阶仪、探针台、电子束光刻机等精密设备的研究，填补了国家在科学精密仪器领域的诸多空白。

经过二十多年的技术积累，以及一支专业的研发与生产团队，泽攸科技以自主知识产权的技术为核心，在半导体芯片加工和材料表征测量领域属于国内佼佼者。关键半导体加工与材料表征测量仪器设备实现国产化，关键之处就在于实现自主可控。未来，泽攸科技还将继续坚持“用精密量测赋能科技创新”的理念，以“科技指领”打破进口纳米科学仪器设备的垄断，聚焦新材料、新能源、半导体、生物医药、基础科研等前沿领域，实现自主研发，打造集微纳米加工、微纳表征、微纳操纵于一体的纳米技术全产业链解决方案，加速国产科学科研仪器产业落地，助力国产科学仪器健康蓬勃发展。

部分产品介绍

1.ZEM Ultra场发射台式扫描电镜

产品介绍：

ZEM Ultra 台式扫描电镜采用肖特基场发射电子源，三级独立真空设计，优于2.5nm的分辨率满足多数样品微纳结构表征需求。标配大束流及大样品仓，支持原位功能样品台及EDS/EBSD拓展。

产品特色：

▲ 易用性强

▲ 全自动操作

▲ 肖特基场发射电子枪

▲ 高稳定性

▲ 高分辨观测

▲ 丰富拓展

应用案例：

2.ZEM20台式扫描电镜

产品介绍：

泽攸科技推出的ZEM系列台式扫描电镜，融合了众多创新技术，不仅成像效果卓越，而且便于携带，能够满足多样化的应用需求。在国内外，ZEM系列以其高端定位和多样化型号，已在成像清晰度、用户友好性以及系统整合性等方面达到了先进标准。

该系列产品以其高度的集成性和多样化的配置选项而著称，用户界面简洁，易于学习和操作，即使是非专业用户也能迅速掌握。配备的软件支持整个工作流程，从样品准备、参数调整到图像分析，提供了一体化的高效解决方案。ZEM系列在新材料、新能源、生物医药和半导体等多个领域均显示出了其强大的分析能力，助力科研工作者深入探索微观世界的神秘。因其卓越的性价比，ZEM系列已成为众多高校、研究机构和企业重点选择的台式扫描电镜。

产品特色：

▲ 真空分隔技术：采用独特真空设计，电子枪和样品仓真空分离，换样时间小于1min。

▲ 超大样品仓：提供了更大的样品存储空间，方便用户操作。

▲ 超高分辨率：极限放大倍数达到36万倍，分辨率4nm@20kV。

▲ 选配减速模式：允许弱导电样品在不喷金的情况下进行观察。

▲ 仓内摄像头：样品仓内置高清摄像头，原位实验时可实时监测样品原位变化。

3.半自动台阶仪 JS100B

产品介绍：

国产半自动台阶仪JS100B/200B/300B，拥有高精度、高分解能力，搭配一体花岗岩结构，提供稳定可靠的重复性测量。JS100B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像，可无畸变的观察样品区，方便定位特征区域，同时探针扫描时可实时观察扫描区域。

特点：

量测精确、功能丰富、一体式集成、模块化设计、售后便捷、极高性价比。

应用范围：

▲ 刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量

▲ 各式薄膜等应力测量

▲ 3D扫描成像

▲ 计划任务和多点扫描

4.电子束光刻机

产品介绍：

泽攸科技ZEL304G电子束光刻机（EBL）采用场发射电子枪，配合一体化的高速图形发生系统实现对半导体晶圆的高速、高分辨光刻。该系统标配高精度激光干涉样品台，允许用户实现大行程高精度拼接和套刻需求，在新材料、前沿物理研究、半导体、微电子、光子、量子研究领域发挥重要作用。

产品特色：

▲ 激光干涉样品台：先进的激光干涉样品台，满足大行程高精度拼接和套刻需求。

▲ 场发射电子枪：高分辨场发射电子枪是光刻质量的重要保证。

▲ 图形发生器：在保证超高速扫描的同时实现超高分辨率图案绘制。

5.PicoFemto透射电镜多孔样品杆

产品介绍：

PicoFemto透射电镜多孔样品杆，多孔样品杆使研究者们可以将三个样品同时置入透射电镜中，大大提高了透射电镜的使用效率。该产品还可以选择双倾版本，每个样品都可以独立实现双向倾转。

性能指标：

● 兼容指定型号电镜及极靴；

● 保证电镜原有分辨率；

● 保证电镜真空度；

● 可选双倾（β方向±25°，同时受限于极靴）；

● 高精度电机控制的β角度倾转。

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