www.188betkr.com 讯近日，华海清科股份有限公司在北京隆重举办了厂区启用仪式，标志着其全资子公司华海清科（北京）科技有限公司负责的集成电路高端装备研发及产业化项目正式投入使用。
华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体装备供应商，主要产品包括化学机械抛光（CMP）装备、减薄装备、划切装备、湿法装备、晶圆再生、关键耗材与维保服务等，初步实现了“装备+服务”的平台化战略布局。目前华海清科产品及服务已广泛应用于集成电路、先进封装、大硅片、第三代半导体、MEMS、Micro LED等制造工艺，已基本覆盖国内12英寸集成电路制造商的大生产线。
华海清科的前身是2000年雒建斌院士、路新春教授带领建立的研究团队，2013年3月，清华控股联合天津市投资设立华海清科，推动该项科技成果的产业化进程。2014年，华海清科研制出我国第一台12英寸“干进干出”CMP装备及系列产品，整体技术达到国际先进水平，实现28nm工艺量产，并具备14-7nm工艺拓展能力，创造了多项国产装备纪录。公司累计超过110余台设备应用于先进集成电路制造大生产线，市占率、进口替代率均位居国产IC装备前列，系列成果填补了国内空白，打破了国际巨头垄断，首次实现了国产抛光装备的批量产业化应用。
12英寸CMP装备系列化产品（Universal-300X） 来源：华海清科官网
华海清科依靠国际化的经营理念和人才团队、先进的工艺试验条件，致力于为半导体领域的企业提供先进的装备及工艺的集成解决方案，遵循“科技服务社会”的公司宗旨，持续以优良的品质和卓越的服务赢得国内外用户的信赖，逐步发展成为国际知名的集成电路高端装备及技术服务供应商。目前公司化学机械抛光（CMP）装备实现了多晶硅、二氧化硅、氮化硅、氧化铝等介质层全面覆盖。
Universal-300系列 来源：华海清科官网
华海清科北京厂区位于北京市亦庄新城，总建筑面积为7万多平方米，用于开展高端半导体装备研发及产业化，启用后将进一步推动更多的湿法、减薄、化学机械抛光等先进半导体装备的诞生，整体生产经营规模与技术研发实力都将进一步提升，是华海清科发展的又一重要里程碑，为今后的创新突破奠基赋能。
华海清科北京厂区 来源：华海清科官网
参考来源：
华海清科官网、Semi Dance、清华大学官网、每日经济新闻
（www.188betkr.com 编辑整理/山林）
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