www.188betkr.com 讯2024年12月19日，日本三菱化学发布公告称，决定在九州福冈工厂（福冈县北九州市）加强“三菱合成石英砂”的产能，这是一种用于半导体制造工艺的合成二氧化硅粉末。此次在现有基础上增加35%产能，计划于2028年9月投产。
三菱化学合成砂
三菱化学表示，该产品是一种合成二氧化硅粉末，具有超高纯度，是用作生产半导体硅的石英坩埚和半导体制造设备中高纯度石英零件的原料。
合成砂产品在石英坩埚中的使用示意图
石英坩埚的表面必须非常纯净，尤其是在铸锭制造过程中，以防止含有会显着降低晶圆质量的杂质。该产品采用多年积累的制造技术，实现了世界上最高的砂型二氧化硅纯度，在此应用中具有很高的竞争力。
据了解，合成石英砂的生产不依赖于天然石英矿产，可以通过化学合成法制备。又因为其纯度更高、光学性能更良等特性，除了在高端光学领域得到广泛应用以外，也符合半导体制程对石英制品高纯、无污染、耐高温的要求，尤其是随着半导体芯片线宽越来越窄，普通的天然石英材料已经无法满足高端生产工艺的要求，合成石英成为10nm制程以下的半导体芯片刻蚀环节中的重要部件。合成砂的技术路线包括气相合成法、化学沉淀法、溶胶-凝胶法、四氯化硅液相水解法等。
三菱化学合成砂特性
目前，市场上仅有日本三菱一家生产的合成非晶体石英砂产品，三菱化学合成石英砂是采用醇硅法制成的超纯合成二氧化硅粉末，其产品纯度达到7N级别，是经过30多年制造技术改进的产品。它是高性能石英玻璃产品的原材料，可以将各种金属元素抑制到极低的水平。它的金属杂质总量小于1ppm，是半导体制造中不可或缺的材料，正变得越来越高度集成，并用作制造高纯度石英零件和硅晶片的石英坩埚的原材料。此外，对于各种光学应用，可以制造从紫外线到红外范围具有出色透射率的玻璃。
三菱化学称，公司为半导体制造工艺提供广泛的材料和服务阵容，并致力于通过确保高质量、稳定的供应来继续为半导体行业做出贡献。此次决定增加产能是为了满足半导体市场持续增长的需求。
参考来源：
三菱化学官网
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