www.188betkr.com 讯据江西瑞思博新材料有限公司官网消息,近日,瑞思博与南昌大学就CMP抛光液项目举行了隆重的合作签约仪式。
半导体晶圆片 CMP 抛光液是半导体制造过程中的关键材料之一,通过抛光液中化学试剂的化学腐蚀和机械磨削的双重耦合作用,在原子水平上去除表面缺陷,获得全局平坦化表面,因此,抛光液对于提高晶圆表面平整度和光洁度起着至关重要的作用。
化学机械抛光液各组分 来源:王东哲等,化学机械抛光液的研究现状
但是,尽管近年来我国在CMP抛光液国产化方面取得了显著进步,但与国际先进水平相比仍存在一定的差距,关键技术尚未完全突破,部分高端产品仍依赖进口。
瑞思博与南昌大学的合作,将充分发挥双方的优势,加强在技术研发、人才培养等方面的合作,推动 CMP 抛光液项目的发展,提高我国半导体材料的自主创新能力和市场竞争力,也为双方带来更多的发展机遇。
来源:江西瑞思博新材料有限公司官网
江西瑞思博新材料有限公司成立于1998年,是国内规模化、专业化生产高端环保工业清洗剂的国家高新技术企业。公司已通过ISO9001:2008质量管理体系认证、ISO14001:2004环境管理体系认证及ISO45001:2018职业健康安全管理体系认证,现有职工160多人,其中大专以上学历人员占比超过66%。公司生产基地坐落于江西宜春,占地面积135亩,同时在北京、上海、深圳、成都、西安等全国十几个重点城市设立了办事处及技术服务团队。
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此次合作是产学研结合的一次有益尝试,将为双方带来更多的发展机遇。相信在双方的共同努力下,半导体晶圆片 CMP 抛光液项目将取得丰硕的成果,为我国半导体产业的发展做出积极的贡献。
参考来源:
[1] 半导体封测、前瞻产业研究院、江西瑞思博新材料有限公司官网
[2] 王东哲等,化学机械抛光液的研究现状
[3] 严嘉胜等,硅晶片化学机械抛光液的研究进展
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