普照材料高精度石英掩膜基版样品试制项目通过验收


来源:湖南电子信息产业集团有限公司

[导读]项目总投资约2000万元,通过自主研发和合作开发,达成了TFT用石英基板产品平面度和平行度高性能指标要求。

www.188betkr.com 讯近日,信产集团所属普照材料承担的湖南省高新技术产业科技创新引领计划“高精度石英掩膜基版样品试制项目”顺利通过湖南省科技厅验收。


湖南省科技创新计划项目是由省级财政专项资金安排,围绕湖南省科技、经济和社会发展重大战略,面向科技前沿、面向经济建设主战场、面向湖南省重大科技需求,专门用于支持基础研究、技术研发、成果转化以及其他创新能力提升的科技活动。项目验收采用同行评议、第三方评估和测试、用户评价、现场核查等方式开展一次性综合绩效评价。普照材料高精度石英掩膜基版样品试制项目评价结论为“优秀”(本期验收优秀率约为15%)。


该项目总投资约2000万元,通过自主研发和合作开发,达成了TFT用石英基板产品平面度和平行度高性能指标要求,攻克了Thin film膜系及PSM钼硅膜系关键核心技术。为建设中的8.5代及以下高精度掩模基板项目实施提供了关键技术支持,同时为公司产品向半导体用掩模基板迭代升级打下坚实基础。


未来,普照材料将持续加大新技术、新工艺的研发应用投入,加强研发平台建设,形成“以屏带芯,屏芯齐进”的战略布局,为国产平板显示与半导体产业链发展贡献力量。


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