www.188betkr.com 讯近日，深圳中机新材料有限公司（简称：中机新材）与广州南砂晶圆半导体技术有限公司（简称：南砂晶圆）签订了战略合作框架协议。
中机新材是专注于针对硬脆材料及先进制造所需的高性能研磨抛光材料的技术研发、生产及销售的高新技术企业。目前该公司已获得近百项发明专利，在超精密研磨、抛光材料的研制方面，尤其在第三代半导体晶圆研磨抛光应用领域取得多项关键性的技术突破，部分产品已处于国际领先地位。
近年来，随着新能源汽车、光伏储能等行业的爆发式发展，SiC行业也迎来高速增长期，目前8英寸SiC单晶生长技术已逐渐成熟，但在磨抛后道工序仍然存在难点。传统磨抛方案中，研磨液占碳化硅衬底原材料成本的15.5%，传统多晶和类多晶研磨成本中高氯酸占总成本的30% ，并且高氯酸产生的环境污染时间长、范围广、难以根除。
而中机新材首创的团聚金刚石技术，替代了多晶和类多晶，生产过程环保并降低了成本。耗液量上，团聚金刚石方案用量仅为3μm单晶金刚石方案的20%，即使选用昂贵的进口团聚金刚石，6英寸SiC衬底片加工也有成本优势。
团聚金刚石与单颗金刚石对比图，来源：中机新材
据了解，目前中机新材已成功进入比亚迪、天岳先进、同光半导体、天域半导体、合盛硅业、晶盛机电、露笑科技等头部企业，预计今年将进入国内一半以上的碳化硅衬底头部厂商。
南砂晶圆是一家从事碳化硅单晶材料研发、生产和销售三位一体的国家高新技术企业。其总部设立在广州南沙区，现有广州、中山、济南三大生产基地，形成了碳化硅单晶炉制造、碳化硅粉料制备、碳化硅单晶生长和衬底制备等完整的生产线。目前，南砂晶圆计划将中晶芯源打造成为全国最大的8英寸SiC衬底生产基地，投资额15亿元，于2025年实现满产达产。
此次双方将深化合作，有助于加快国产8英寸SiC衬底的产业化进程，提升市场竞争力。
来源： 中机新材、闪电新闻
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