石英玻璃制造工艺、性能及其应用


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[导读]占领行业制高点,领跑石英新技术。

www.188betkr.com 讯石英玻璃是众所周知的“玻璃之王”,那你知不知道中国第一块石英玻璃是何时诞生的?


1955年,科学技术发展远景规划(1956-1967年),确定了国家经济建设和国防建设急需的57项重点科研任务。其中,第26项“试制新型硅酸盐制品”和第40项“建立半导体技术”两项任务书中,列入了石英玻璃的研制内容。


当时石英玻璃的试制任务是下达给中国建材总院的前身——国家建筑材料综合研究所。


从此,我国开启了石英玻璃的发展之路。


面对如此艰巨的任务,中国建材总院迎难而上、排除万难,最终于1957年成功研制出我国第一块不透明石英玻璃,从此开启了中国石英玻璃专业的大门。




不断突破技术封锁,助力高精尖技术产业发展


1958年在不透明石英玻璃的试制基础上,我国研制出第一支透明石英玻璃。


1966年,中国建材总院石英玻璃科研组经过几年的努力,成功制定颁发了JC 99-66、JC 100-66、JC 101-66、JC 102-66、JC 103-66等多项行业标准,后经生产和使用的要求,进行了多次修订。


1987年,航天领域相关单位找到中国建材总院,提出需要一款经宇宙射线辐照不变黑并能过滤紫外线的特殊石英玻璃。时任中国建材总院国家石英玻璃质监中心主任的顾真安,接下了这块难啃的“硬骨头”。历经多次试验,1993年,顾真安团队成功研制出耐辐照石英玻璃。


1997年,在全国石英行业只能做到直径小于200毫米的石英玻璃的情况下,国家重点工程向全国发出Φ300毫米、高品质的石英玻璃研制任务需求。


这又是一个前所未有的挑战。


让玻璃“站着”变大变长。顾真安与时任中国建材总院石英所(现为石英院)所长王玉芬,在上海棱光实业股份有限公司争取到了一块“旮旯地”,带领向在奎等一批技术人员搭建起我国第一座立式沉积炉。


2001年11月,喜讯传来——320毫米口径、重23公斤,第一个立式化学气相沉积工艺制备的高纯石英玻璃坨研制成功!


为了进一步提高立式化学气相沉积合成石英玻璃的产品尺寸、性能和沉积效率等,实现节能减排,2008年开始王玉芬科研团队先后突破了立式双灯、三灯等多燃烧器合成石英玻璃沉积工艺技术,制备出直径600mm口径以上的高质量石英玻璃砣,沉积效率由150g提高至400g以上,大大提高了沉积效率,节省了燃料等资源。


……


一次次的技术突破,助力我国高精尖技术产业不断发展壮大。

占领行业制高点,领跑石英新技术


高性能石英玻璃材料及制品,石英玻璃纤维和以石英玻璃纤维为基材的复合材料及制品是半导体、航空航天、光学、光通讯及太阳能等行业和国家相关重大工程不可或缺的重要基础性材料及制品。


在半导体领域,石英玻璃材料及制品广泛应用于半导体芯片制程中,是半导体蚀刻、扩散、氧化等工序所需的承载器件与腔体耗材。合成石英玻璃主要用于半导体高端制程中石英玻璃材料配套领域和光掩膜基板业务。


在航空航天领域,石英玻璃纤维和以石英玻璃纤维为基材的复合材料具有强度高、膨胀系数小、介电常数和介电损耗小、耐腐蚀与可设计性能好等特点,具备优良的耐高温、耐烧蚀、高透波与电绝缘性能,成为广泛应用于航空航天与海洋装备领域的功能材料。


在光学领域,合成石英玻璃材料具有高耐温性、高纯度、高透明性、高稳定性、高功率承受能力以及优异的化学特性,用作高端光学领域的透镜、棱镜、激光器以及TFT-LCD和IC用光掩膜基板。


在光通讯领域,石英玻璃支撑棒、把手棒是用作光通讯领域光纤预制棒沉积及烧结和光纤拉制中的支撑材料。


近年来,航空航天及半导体等产业发展带动石英玻璃需求增长,同时对制备工艺提出了更高要求。


2023年11月16~17日,www.188betkr.com主办的“2023(第七届)全国石英大会暨展览会”将于安徽蚌埠召开,届时来自中国建筑材料科学研究总院石英与特种玻璃研究院的教授级高工王玉芬将作《石英玻璃制造工艺、性能及其应用》报告。详细讲述石英玻璃的制备技术、性能以及石英玻璃在高端技术领域的应用。



参考资料:

中国建材总院:从第一块石英玻璃到高精尖突破的漫漫科研路

科技日报.为航天器安上明亮的“眼睛”

粉体大数据研究.【揭秘】中国石英玻璃工业往事

菲利华2022年度报告


(www.188betkr.com 编辑整理/黑金)

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作者:黑金

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