实现4寸结晶成长,GaN基板将提早量产


来源:化学工业日报

[导读]据日本化学工业日报报道,三菱化学与日本制钢所合作研发的氮化镓(Gallium Nitride; GaN)基板技术,经确认结晶成长已达4寸。今后将以大型实验设备进行反覆验证,预计2022年初推至量产,可望在2030年度成长至数百亿规模的大型事业。

www.188betkr.com 讯据日本化学工业日报报道,三菱化学与日本制钢所合作研发的氮化镓(Gallium Nitride; GaN)基板技术,经确认结晶成长已达4寸。氮化镓是镓与氮的化合物,是实现超高效率元件的关键材料,业界相当期待正式普及化。今后将以大型实验设备进行反覆验证,预计2022年初推至量产,可望在2030年度成长至数百亿规模的大型事业。相关人员表示,原先评估量产要到2023年以后,因开发状况顺利且超过预期,将提前投入市场。


这项研发源自于新能源产业技术总合开发机构(NEDO)推动的「实现低碳社会之次世代功率电子计划」补助事业,并在GaN的结晶成长技术上展现成果。实证采用2021年5月刚竣工的全球最大规模GaN基板制造实证设备,加上独家开发的「SCAAT(Super Critical Acidic Ammonia Technology)-LP」的制造技术,得以制作出高品质且低成本的GaN基板,并使之成长至4寸。比起试生产所用的设备,大型实证设备在规模上有大幅度的提升,因此可制造更大量的GaN基板。


(www.188betkr.com 编辑整理/长安)

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