目前云德生产的高精度、高清洁度要求的石英、硅、陶瓷零部件主要装配于干/湿法刻蚀、外延、氧化扩散、薄膜沉积等半导体主要加工设备中,属于关键零部?被广泛应用于集成电路及第三代半导体等领域?是半导体产业链中不可或缺的一部分、/p>