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ELEDE 380系列刻蚀机是LED芯片制作的关键设夆�/span>,可以用于正装芯片，倒装芯片，垂直芯片这三种芯片中的电极刻蚀(刻蚀材料GaN, AlGaInP/GaP)，隔离刻蚀(刻蚀材料GaN,GaAs)SiO_2,SiN_X),SiO₂咋�/span>金属阻挡层刻蚀(刻蚀材料TiW)、�/span>良好的刻蚀均匀性对芯片的亮度和良率至关重要、�/span>