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上海纳腾仪器有限公司
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产品简今/div>
仪器简介:
Cascade Microtech EPS系列测量平台是一款结构简单、高精确度、多功能、及高性价比的150mm基准的探针台,解决了一系列的测量难题。该探针台采用了一种模块化设计,提供了众多的配置可能性,旨在满足诸如单切晶片 150mm 晶圆、模块、印刷电路板组件和微流体芯片等多种器件的精密电测量的需要。您可以通过确定*适合自己当前需要的 EPS模块来设计特有的探针台,或对自己现有 EPS进行升级以满足未来的测量需求、/p>
优越的应用灵活性使得EPS能满足DC和RF测量、器件和晶圆表征测试(DWC)、失效分析(FA)、亚微米探测、MEMS和光学工程测量;EPS也能用作一个灵活的探头卡,实现wafer级的可靠性应用(WLR),能同时配备多?0个探针座、/p>
技术参数:
基座 基本尺寸 Z轴可移动范围
标准平台 490mm x 490mm480mm 10mm
X-Y-平台 XY范围 *小步 范围 晶圆范围
EP6标准平台 155mm x 155mm 5m 360 6寷/p>
主要特点9/strong>
1. 结构简单、多功能:/p>
2. 平台配置可满足DC、RF测量:/p>
3. 独特的模块化设计可根据客户的需要配置和升级:/p>
4. 量程大、可配暗箱、CCD等配件;
扩展功能9/strong>
1、射频头部;
2、探针卡端口;(出厂前配置)
3、光电屏蔽箱:/p>
4、CCD视频系统:/p>
5、温控模块;(常?300℃可选)
6、EPS_FA可配置激光等、/p>
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