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光学仪器及设夆/a>
比表面积测定?/a>
其他
光谱检测分析仪
分子生物学仪?/a>
制样/消解设备
半导体行业专用仪?/a>
X射线仪器
清洗/消毒设备
HOLITH界面光刻技?---“纳米压印友好伴侣“/strong>
HOLITH界面光刻装置使用两束干涉激光在光界面上形成?/p>
期性光栅和?孔图案 HOLITH纳米成像系统具有新型
学,光学和电学设计,可在200nm-2m的周期性范围内?
英寸晶片上做出纳米结构图案,图案*小形貌可?0nm、/p>
***的HOLITH**技术可使用户仅通过简单的鼠标点击擌/p>
作便能作?00nm以下尺寸的高品质高均一性线性光栅和
2D/3D图像。在HOLITH界面光刻装置中无需使用遮罩和模
具、/p>
优势9/strong>
无遮罩过程:低成本、多功能、可伸缩
计算机系程序自动化光学结构和排列控制
简单操作,无需光学培训
相比遮罩定位器系统成本更位/span>
200nm范围内具有高分辨玆/span>
*低特征尺寸小?0nm
无需遮罩及模其/span>
可以制作大面?D/3D纳米压印模具?/6英寸(/span>
可以操作不平整晶牆/span>
周期精度9+-2.5%
All-fiber-optic setup replacing free-
space optical components
Special optical fiber delivers light from
laser
Fiber-optic beam splitter splits the
laser beam into two coherent beams
Output port of the fiber performs
spatial filtering
Close-loop feedback control stabilizing
interference pattern
低成本、不受环境因素干扰,使自动化成为可能:自由改变入射角度调整模式周期、/p>
Holith 纳米图案化结枃/p>
应用9/strong>
能源
太阳能电池抗反射结构
太阳能电池光子操纴/p>
LEDs灯管中的光提叕/p>
图案化蓝宝石基板(PSS)
光学器件
1-D?-D光栅光谱
大范围等离子体结枃/p>
光子晶体
超颖表面
高对比度光栅过滤器和反射?/p>
亚波长和衍射光学器件
计量光栅
结构化的颜色
斘/p>
超疏?亲水表面
诱导自组裄/p>
表面增强拉曼荧光
生物医学传感?/p>
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