编号：CYYJ03962
篇名� Ag纳米颗粒增强SnO2纳米薄膜的室温气敏性能研究
作者： 刘文� 吴鹏� 王瑗� 连艳� 杨莹�
关键词： 二氧化锡纳米薄膜 AG纳米颗粒 异质� 气体传感�
机构：河南理工大学物理与电子信息学院 中国联合网络通信有限公司焦作市分公司 河南理工大学分析测试中心
摘要� 采用磁控溅射法在p-Si衬底上沉积二氧化�?SnO2)纳米薄膜并在其上负载�?Ag)纳米颗粒作为气体传感器的敏感材料。实验结果表昍�负载Ag纳米颗粒提高了SnO2纳米薄膜的灵敏度。Ag溅射时间�?0 s,负载量为6%质量分数的SnO2纳米薄膜对乙醇气体的响应值较未负载Ag纳米颗粒时提高了78.7%,这可以归因于Ag纳米颗粒与SnO2纳米薄膜之间形成了异质结。实验测试了工作电压对SnO2纳米薄膜灵敏度的影响,当工作电压均�?.5 V�?传感器对乙醇和丙酮气体的响应最�?响应值分别为3.49�?.51�