化学气相沉积法合成Si3N4纳米带的研究
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2023-12-21
编号:NMJS08927
篇名 化学气相沉积法合成Si3N4纳米带的研究
作者: 李思婷 李增 傅煜 刘丽 谭嘉 赵文 谭浩 陈洋
关键词: Si3N4纳米 催化 化学气相沉积 显微结构
机构:湖南工学院材料科学与工程学陡br>摘要 以Si粉、酚醛树脂和硝酸铁为原料,采用化学气相沉积法在氮气气氛下合成Si3N4纳米带。研究了热处理温度和硝酸铁添加量对合成Si3N4纯度和形貌的影响。结果表?在非催化作用?热处理温度升高有利于提高Si3N4纯度;温度?500℃时,合成高纯Si3N4,其中α-Si3N4和?Si3N4生成量分别为91%?%。添加催化剂显著影响Si3N4形貌,其形貌由直线形带状结构演变为蜷曲的带状结?具有这种带状结构的Si3N4为?Si3N4;当硝酸铁添加量为5%?α-Si3N4生成量较??5%