纳米
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技术中忂/a>>
1155
2019-06-10
技术资斘/div>
CrAlSiN纳米复合涂层的制备与组织结构表征
1155
2019-06-10
编号：TLHY00239
篇名 CrAlSiN纳米复合涂层的制备与组织结构表征
作者： 王志 王政 孙帅 王菁 范其
关键词： 高功率脉冲磁控溅射技 纳米复合CrAlSiN涂层 相结 力学性能
机构：天津职业技术师范大学机械工程学陡br>摘要 采用Cr靶、Si靶和Al靶作为靶?利用高功率脉冲磁控溅射系统在304不锈钢和单晶硅片(100)基片表面沉积CrAlSiN纳米复合涂层,并测定其显微组织结构和力学性能。结果表?该纳米涂层的主要相结构为单一的fcc-(Cr,Al)?结构致密,与基体的结合力可?5N
篇名 CrAlSiN纳米复合涂层的制备与组织结构表征
作者： 王志 王政 孙帅 王菁 范其
关键词： 高功率脉冲磁控溅射技 纳米复合CrAlSiN涂层 相结 力学性能
机构：天津职业技术师范大学机械工程学陡br>摘要 采用Cr靶、Si靶和Al靶作为靶?利用高功率脉冲磁控溅射系统在304不锈钢和单晶硅片(100)基片表面沉积CrAlSiN纳米复合涂层,并测定其显微组织结构和力学性能。结果表?该纳米涂层的主要相结构为单一的fcc-(Cr,Al)?结构致密,与基体的结合力可?5N
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