匀胶机(英文名：Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膛�/span> 详细介绍：匀胶机(英文名：Spin Coater&Spin Processor)行业俗称：匀胶台、匀胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、涂层机

一、产品概述：

650型匀胶机适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。MYCRO的MSC系列匀胶机具有稳定的转速和快速的启动，可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性，这正�?50型匀胶机的特点、�/span>

二、匀胶机工作原理９�/span>

匀胶机（spin coater）的工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上，甩胶机常用于各种溶胶凝胶（Sol-Gel）实验中的薄膜制作，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关、�/span>

三、匀胶机主要性能指标９�/span>

1、腔体尺寸：12.5英寸 (318 毫米)：�/span>

2、Wafer芯片尺寸�?0-200mm直径的材料，方片178x178mm，小�?0mm提供3mm的转接托盘）：�/span>

3、转动速度�?-12�?00rpm�

4、旋涂加速度�?-30000rpm/sec（空载）：�/span>

5、马达旋涂转速：稳定性能误差 < ��1%：�/span>

6、转速调节精度：<0.2rpm，重复�? 0.2rpm：�/span>

7、工艺时间设定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度：�/span>

8、匀胶机材质：NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方：�/span>

9、高精度数码控制器：PLC控制，设置点精度小于0.006%、�/span>

10、程序控制：可存�?0个程序段，每个程序段可以设置51步不同的速度状态；

11、分辨率：分辨率小于0.5�?分，可重复性小�?#177;0.5�?分，美国国家标准技术研究院（NIST）认证过的，并且无需再校准！]

12、配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹：�/span>

13、配套分析软件：SPIN3000操作分析软件：�/span>

14、原装进口水平测试仪�

15、两袋密封圈�

16、废液接收单元；

可选配置： IND构造为湿站系统设计，带远程控制：�/span> OND构造为手套箱系统设计，带远程控制； UD自动滴胶装置９�/span>UD-3带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒， EBR(Edge Bead Remover)：晶圆去边，机械装置：�/span>