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产品详情
PE-100美国进口RIE等离子刻蚀朹/div>
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- 430
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- 暂无
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- 美国
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- 暂无
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产品简今/div>
台式小型机，PLC人机自动控制，简单易用，适用于实验室及小批量工业生产中材料表面清洗、蚀刻、活化等工艺、/p>
提供三种功能配置９/p>
1. 常规的等离子清洗和等离子刻蚀
2. 反应离子刻蚀（RIE（/p>
3. 可转换结构（包含可以进行各向同性和各向异性的等离子工艺）可拆卸的托盘构造、/p>
等离子刻蚀机技术参数：
设备型号：PE-100
腔体尺寸：长方形腔体，长?05 x深度368 x高度305mm：/p>
腔体材质：T-6铝合金一体成型；
腔体容积?4升；
射频电源?3.56MHz?~300W自动调节：/p>
工作压力范围?-2000 mT：/p>
气体流量控制?-50cc/min带精密针阀：/p>
皮拉尼真空计 0-1Torr：/p>
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